Kombinált ultramagas vákuumrendszer

Kombinált ultramagas vákuumrendszer
Egyes speciális követelményeket támasztó vákuumrendszereknél, például olyanoknál, amelyek ultramagas vákuumot vagy olajmentes ultramagas vákuumot igényelnek, ugyanakkor kielégítik a durva szivattyúzás igényeit, és megbirkóznak a folyamat során felszabaduló nagy mennyiségű gázzal, a kombinált rendszer a követelmények teljesítésére használható. A 5-16. ábra az olajmentes ultra-nagyvákuum bevonógép vákuumrendszerének vázlatos diagramját mutatja. A fő szivattyú a porlasztó ionszivattyú, amely titán szublimációs szivattyúval van felszerelve a vákuumfok javítása és az anyagok elpárolgása során keletkező nagy mennyiségű gáz eltávolítása érdekében. A végső vákuumfok elérheti a 6,67 × 10-7 Pa-t. A molekulaszita szivattyút a főszivattyú előszivattyújaként használják. Ezenkívül a rendszer fel van szerelve adszorpciós csapdával is - mechanikus szivattyú durva szivattyúrendszerrel, amikor a nyomás nagyobb, mint 1333 Pa, a mechanikus szivattyú nem könnyű visszavezetni az olajat, vákuum közvetlenül a vákuumkamrába a mechanikus szivattyúval, amikor A vákuumkamra nyomása kisebb, mint 1333 Pa, a mechanikus szivattyú a 9 adszorpciós csapdán keresztül a bypass vákuumkamrából indul ki.

▲ Ábra 5-16 Olajmentes ultramagas vákuum bevonó vákuumrendszer sematikus diagram: 1- vákuumkamra 2- ultranagy vákuum tolózár 3- Porlasztó ionszivattyú {{7} } titán szublimációs szivattyú 5- ultra-nagy vákuumszelep 6- légtelenítő szelep 7- nagyvákuumszelep 8- molekulaszita szivattyú 9- adszorpciós csapda 10- mechanikus szivattyú

IKS PVD cég, dekoratív bevonógép, szerszámbevonó gép, DLC bevonógép, optikai bevonógép, PVD vákuumbevonatoló sor, a kulcsrakész projekt elérhető. Lépjen kapcsolatba velünk most, e-mail: iks.pvd@foxmail.com