Kombinált ultra-nagy vákuumrendszer, Porlasztó ionszivattyú - Titán szublimációs szivattyúkészlet
Sep 25, 2023| Kombinált ultra-nagy vákuumrendszer, Porlasztó ionszivattyú - Titán szublimációs szivattyúkészlet
Ábra 5-17 Kombinált ultranagy vákuumrendszer: 1- vákuumkamra 2- Ultranagy vákuum tolózár 3- Porlasztó ionszivattyú - Titán szublimációs szivattyúcsoport 4- Ultra -nagyvákuumú tolózár 5- hidegcsapó 6- diffúziós szivattyú 7- elülső csővezeték szelep 8- Ultranagy vákuumú csővezeték szelep 9- légtelenítő szelep 10- mechanikus vákuumszivattyú
A 5-17. ábra egy másik típusú kombinált ultramagas vákuumrendszert mutat be. A rendszer alkalmas vákuumos tömítőkemencékhez, tantállemezes kemencékhez és egyéb berendezésekhez. A rendszer fő szivattyúja a porlasztó ionszivattyú-titán szublimációs szivattyú csoport. A vákuumkamra vákuum határértéke elérheti az 5×10-7Pa-t. A rendszer egy olajdiffúziós szivattyúból és egy mechanikus szivattyúból álló egységgel van felszerelve, amely főszivattyúként durva szivattyúzásra és előszivattyúzásra szolgál, és a folyamat során felszabaduló nagy mennyiséget el tudja pumpálni.
IKS PVD cég, dekoratív bevonógép, szerszámbevonó gép, DLC bevonógép, optikai bevonógép, PVD vákuumbevonatoló sor, a kulcsrakész projekt elérhető. Lépjen kapcsolatba velünk most, e-mail: iks.pvd@foxmail.com