Vákuumkamra kialakítása vákuum bevonó berendezésekhez
Jan 21, 2019| Vákuumkamra kialakítása vákuum bevonó berendezésekhez
IKS PVD, Kiváló minőségű vákuum bevonó berendezés, iks.pvd@foxmai.com
A vákuum bevonat technológiája a fizikai vagy kémiai módszerek alkalmazása vákuumállapotban, úgy, hogy az objektumfelület a kívánt filmtestet, vákuumbevonási technológiát a különböző módszerek szerint elpárologtatással, porlasztásos bevonattal, ionbevonattal, gerenda lerakódással és molekuláris eloszlással hozza létre. gerenda epitaxis stb. Ez a bevonóberendezés analízise a magnetron-permetező bevonat.
Vákuumkamra a vákuumberendezés fő része, a vákuumszárító berendezések vákuumkamrájának tervezését főként a tömítésnek és a megbízhatóságnak tekintik, a szerkezetnek ésszerűnek kell lennie, a vákuumberendezés anyaggyártását a vákuumkamrában végzik, az anyagnak kis hatása van a vákuum fok, a tervezés nem lehet gondatlan, hogy fordítson figyelmet néhány problémára.
A vákuummágneses sputterezéssel ellátott bevonóberendezések használata általában a hengertest szerkezetét veszi fel, a gyors idő biztosítására szolgáló szerkezet a levegőzseb miatt lassan leeresztik, így elkerülve az elkülönítő üregeket, a felső vákuumrendszer magában foglalja a mágneses sputterpisztolyt. A vákuumkamra és az alkotóelemek elég erősek, biztosítják, hogy külső és belső működés közben ne alakítsák ki az alakváltozást, a vastagságnak elegendőnek kell lennie.
A hegesztés a vákuumkamra gyártásában kulcsfontosságú folyamat, annak biztosítása érdekében, hogy a hegesztés után a vákuumkamra ne keletkezzen szivárgási jelenséget, meg kell tervezni egy ésszerű hegesztési szerkezetet, javítani kell a hegesztés minőségét, az ultra magas vákuumban. A kültéri beltéri felület polírozására szolgáló belső fal érdessége nagyon világos és tiszta, ezért különös figyelmet kell fordítani arra, hogy a rozsdásodás megelőzése érdekében jó munkát kell végezni.