Az ionnyaláb-feldolgozás jellemzői:
Dec 11, 2019| Az ionnyaláb-feldolgozás jellemzői:
(1) Mivel az ionnyaláb az elektronikus optikai rendszereken keresztül történő fókuszálással szkennelhető, az ionnyalábot bombázó anyagok rétegekből eltávolítják az atomokat, az ionnyaláb-sűrűség és az ionenergia pontosan szabályozható, így az ionmaratás nanométeres (0,001 nm) feldolgozási pontosságot érhet el. Az ionbevonat szubmikron szinten szabályozható, az ionimplantáció mélysége és koncentrációja pedig nagyon pontosan szabályozható. Ezért az ionnyaláb a legpontosabb és mikro-feldolgozási módszer az összes speciális feldolgozási módszer között, és a modern nanométeres feldolgozási technológia alapja.
(2) Mivel az ionnyaláb-feldolgozást nagy vákuumban végzik, kevésbé szennyeződik és különösen alkalmas könnyen oxidálódó fémek, ötvözött anyagok és nagy tisztaságú félvezető anyagok feldolgozására.
(3) Az ionnyaláb-feldolgozást úgy végezzük, hogy az anyag felületén atomokkal bombázzuk az ionokat. Ez egy mikrohatás, a makroszintű nyomás nagyon kicsi, tehát a feldolgozási stressz, a termikus deformáció és más apró, magas feldolgozási minőségű, mindenféle anyaghoz és alacsony merevségű alkatrészek feldolgozásához alkalmas.
(4) Az elektronnyaláb intenzitását, helyzetét és fókuszát közvetlenül a mágneses mező vagy az elektron szabályozhatja, tehát az egész folyamat kényelmesebb először automatizálni. Különösen az elektronnyaláb expozíció esetén, a feldolgozás helyétől a feldolgozó grafika szkenneléséig. Automatizálható. Az elektronnyaláb fúrása és vágása során a speciális alakú lyukakat elektromos vezérléssel lehet megmunkálni, hogy elérjék az íves vágást.
IKS PVD Elektronnyaláb optikai bevonógép ， IKS-OPT2700, További részletek, üdvözlő kapcsolat a iks.pvd@foxmail.com