Fő paraméterek befolyásolják a katódporlás film

Fő paraméterek befolyásolják a katódporlás film

Sebességének utal, hogy a film vastagsága letétbe a felszínen az egységnyi idő anyagok a cél, ami a katódporlás mértéke arányos a porlasztás. A következő kapcsolatok rendelkeznek:

QT = CIh

QT - áll a lerakódás sebessége;

C--állandók képviselő a jellemzői a katódporlás eszköz;

-Képviseli a ionok áramlását;

H--jelöli a katódporlás mértéke.

Ez is látható ebben az egyenletben, megállapításakor a katódporlás eszköz (C egy, a rögzített paraméter a katódporlás eszköz, amely általában határozza meg kulcsfontosságú paraméterek, mint a bázis céltávolság tervezés kezdetén) és az üzemi gázmennyiségek van jelölve , a legjobb módja annak, hogy javítsa a lerakódás sebessége, hogy növelje a ionok áramlását azt.

A film formáció a magnetron porlasztás ára arányos a cél hatalom. A tényezők, amelyek a lerakódás sebességének meghatározására: power sűrűsége metszett terület, metszett felszín, cél-bázis távolság, cél anyag, gáznyomás, gáz összetétele, stb. A fent felsorolt paraméterek nagyjából fontossági sorrendben vannak elrendezve, de néhány közülük befolyásolják egymást, mint a nyomás, teljesítmény-sűrűség, rézkarc, terület, stb. Ezen túlmenően a hő- és mechanikai tulajdonságait a cél is korlátozzák a maximális katódporlás mértéke.

IKS PVD, vákuum bevonatolási technológia, lépjen kapcsolatba velünk most, iks.pvd@foxmail.com