A kriogén szivattyú használata miatt figyelmet igényelő ügyek

A kriogén szivattyú használata miatt figyelmet igényelő ügyek

1. A kriogén szivattyúport hőterhelésének hatása
   A kriogén szivattyú populációs gát hőterhelését általában 300K gáz alapján számítják ki. Ha a kriogén szivattyú bemeneti hőmérséklete túl magas, bizonyos módszereket kell elfogadni a hőforrás árnyékolása. Ellenkező esetben a bemeneti terelőnyílás hőmérséklete meghaladhatja a 100 000-et, ami közvetlenül befolyásolja az adszorpciós tömb hőmérsékletét, és hatással van a befogott gázra.

   2. A hirtelen áramkimaradás hatása a kriogén szivattyú működésére
   A kriogén szivattyú folyamatos működése során a helium aktív szén adszorpciója telített. Ha rövid ideig áramkimaradás lép fel, a heliumgáz felszabadul, amint az adszorpciós tömb visszarúg. A vízgőz is deszorbeálható a másodlagos hideg képernyő és terelő és adszorbeált az adszorpciós tömb. Ebben az esetben a kriogén szivattyú regeneráló kezelést igényel.
   3. Alacsony hőmérsékletű rendszerkonfigurációs nyomónyomás lebéle tisztasága
   A gélium sajtó kell tölteni nagy tisztaságú argon, igénylő 99,999%. Neon a leggyakoribb szennyeződés, amely kondenzálódik az alacsony hőmérsékletű felületen az elsődleges és másodlagos hűtőfej üreg, ami a kopás tömítések. A helium prés karbantartása során különös figyelmet kell fordítani a helium töltési módszerére, és a levegőt nem szabad behozni, különben a csővezeték blokkolva lesz.
   4. Az olajköd hatása a kriogén szivattyúra
   Kriogén szivattyú használata, ha van olajködgáz-forrás a vákuumkamrában, akkor szennyezi az aktív szenet az adszorpciós mátrixban, hogy elveszítse szivattyúkapacitását. A kriogén szivattyú regenerálása során meg kell akadályozni az aktív szén olajszennyezését is.
   5. Távolítsa el a veszélyes gázokat
   A kriogén szivattyút nem szabad veszélyes gáz eltávolítására használni, a befogás után, a regeneráláskor felengedni, veszélyeztetni a környezetet és a személyes biztonságot.
   6. Biztonsági szelep alacsony hőmérsékletű rendszeren
   Amikor a kriogén szivattyú regenerálódik, a rögzített gáz néha azonnal felszabadul a hőmérséklet emelkedése miatt, ami a kriogén szivattyúkamra nyomásának emelkedését okozza, és veszélyezteti a szivattyú biztonságát. Ebből a célból a kriogén szivattyút biztonsági szeleppel kell felszerelni, hogy túlnyomásos levegő szabaduljon fel. A biztonsági szelepet rendszeresen ellenőrizni kell. A nagy vákuumrendszerek és kriogén szivattyúk néha magas telepítési magassággal vannak. Nem könnyű a kezelők számára a működés, és nagyobb figyelmet kell fordítani a biztonsági szelep megbízhatóságára, különben súlyos baleseteket fog okozni.

   
   

IKS PVD cég, díszbevonó gép, szerszámbevonó gép, optikai bevonat gép, PVD vákuumbevonó vonal. Vegye fel velünk a kapcsolatot most, E-mail: iks.pvd@foxmail.com