PVD bevonat vastagsága és ellenőrzése
Dec 15, 2018| PVD bevonat vastagsága és ellenőrzése
IKS PVD, PVD vákuum bevonat gép gyártása Kínából, lépjen kapcsolatba velünk most, iks.pvd @ foxmail.com
A bevonat vastagsága a bevonat külső felületére és a bevonat alatti felülethez viszonyított távolságra vonatkozik, általában 0-15 ° C-on, sok detektálási módszer van, az alábbiakban ismertetjük a leggyakoribb módszerek alkalmazását: keresztmetszeti módszer, gömb alakú jelölési módszer és a roncsolásmentes észlelési módszer.
1. metszet
A metódus egy romboló detektálási módszer, a munkadarabot nem lehet újra használni. A munkadarabot vagy a mintát a bevonatszakasz mentén teszteljük, a méréshez 1000–10000-szor nagyobb mikroszkóp alatt, annál nagyobb lesz a nagyítási tényező. az emberi tényezők, annál nagyobb a pontosság.A határ a bevonat és a szubsztrát nagyon nyilvánvaló, és kényelmes mérni a skála a sem.The távolság a vonalzó kezdő és végpontok a vastagsága a bevonat.Hogy a a mérés pontos vagy nem az, hogy helyesen megítélje a határot a bevonat és az aljzat között, különben hibákat fog okozni.Ha a felület és a hordozó közötti felület fuzzy, akkor a legjobb, ha nem használja ezt a mérési módszert. A mérési módszer intuitív és pontos. Ezen túlmenően, ha ezt a módszert használják a méréshez, jobb, ha megfigyeljük a szekciót, amelynek viszonylag laposnak kell lennie. Ellenkező esetben manuális feldolgozást kell végezni, hogy a szekciót még megfigyelésre és mérésre is elvégezzék.
Az olajtükör is használható a bevonat szakaszának mérésére. A vágott mintát műanyag porba helyezzük a préseléshez, az égetéshez és a blokkmintába való formázáshoz, majd a vizsgált felületet őröljük, és a vizsgált felületet őröljük és kiegyenlítjük. A mérés során az olajból szivattyúzott levegőt az objektív és a mért felület között mérik, hogy csökkentsék az interferenciát.
2. Ball-kráter
A ball mark módszer az, hogy egy bizonyos átmérőjű acélgömböt használjon a bevonat csiszolásához, a bevonathoz és a mátrix csiszolásához, egy gömbcsiszoló műszerszakasz egy ívhez. Az őrlési műveletekre vonatkozó követelmények megegyeznek a golyójelzéssel, amely a bevonat tapadását méri. A golyócsiszolás után a képet a mikroszkóp alatt a képalkotó rendszeren és a monitor alatt figyeljük meg.
A munkadarab megjelenése megsérül a golyójelzéssel. Ha a detektálási pont nincs a funkcionális területen, általában nem befolyásolja az újrafelhasználást. A hibák kiküszöbölése érdekében azonban meg kell vitatni és meg kell szereznie a műtermék tulajdonosa beleegyezését a módszerrel történő tesztelés előtt.
3. roncsolásmentes vizsgálat (NDT)
A roncsolásmentes vizsgálati módszer a munkadarab bevonat vastagságának a munkadarab károsítása nélkül történő kimutatására szolgál. Az NDT módszerek sokféle típusa van, általában a nem roncsoló vizsgálatoknak meg kell adniuk a szubsztrátot és a bevonó készítményt, vagy a mintában a mintadarab elemzésére szolgáló bevonat mintadarabot kell mérni, és meg kell mérni a bevonó készítmény összetételét a mesterkeverékhez képest. a bevonat vastagságának elméletét úgy határozzuk meg, hogy a különböző szubsztrát- és bevonatösszetétel-elemzésekhez mérési programot, majd a tényleges mérést készítsünk. Természetesen néhány eszközt közvetlenül mérhetünk anélkül, hogy a minta blokkokat készítenénk, de a hiba nagy. Ez a rész főleg röntgen fluoreszcenciát (XRF) vezet be.
Az XRF műszer főleg röntgen gerjesztési forrásból és detektáló rendszerből áll. A röntgencső röntgen alapú sugárzást hoz létre (sugárzás vagy mérendő munkadarab, a mérendő munkadarab minden eleme motivált, másodlagos röntgensugárzás és a másodlagos sugárzások, amelyeket a különböző energia-jellemzőkkel rendelkező elemek bocsátanak ki (azaz a másodlagos sugárfajták energiaelemei és az elemek tartalma alapján tanulhatnak) .A detektáló rendszer megméri a gerjesztett másodlagos sugarak energiáját és mennyiségét. az észlelt energia- és mennyiségadatokat megfelelő elemekké és tartalmá alakítja át, hogy a vizsgált munkadarabban lévő elemek típusa és tartalma észlelhető legyen. A röntgen-fluoreszcencia elve alapján az időszakos táblázat minden eleme elméletileg mérhető. gyakorlati alkalmazásban a hatékony elemi mérési tartomány a 11 elem, a nátrium (Na), a 92 elem, az urán (U).
A fenti elvek szerint a minta bevonat vastagságának mérésekor az XRF elemzi a mátrix és a bevonat elemösszetételét. Általában a bevonat elemösszetétele nagyon különbözik a mátrix összetételétől. Ezért a számítási szoftver kiszámíthatja a bevonat vastagságát. Ha a különböző szubsztrátok és bevonatok elemösszetételét előzetesen külön-külön észlelik és a számítógépes adatbázisban tárolják standardként, amikor az XRF detektálás során a detektált elemösszetételt összehasonlítjuk a standarddal, hogy megtaláljuk a megfelelő mátrixot és a bevonat típusát, és megítéljük a felületet a bevonat és az aljzat között úgy, hogy a bevonat vastagságát pontosabban mérjük.