Vákuummérő berendezés kiválasztása különböző vákuumtartományokban

Durva vákuum

Általános vákuum alkalmazások, rugós típusú vákuummérő (mechanikus rugalmas deformációs mérő)

Ugyanakkor a durva vákuumtól az alacsony vákuumig történő méréshez membrán típusú vákuummérő, kapacitív film típusú vákuummérő és radioaktív ionizációs vákuummérő is használható

101325-1000Pa

Korrozív gáz, kapacitív filmmérő

Pontos mérési lehetőségek, u típusú vákuummérő

Alacsony vákuum

Csak durva jelzéshez ， A szikra vákuumjelzője

1000-0.1Pa

Általában hőelem vagy ellenállás vákuummérő

Pontos mérés, kompressziós típusú vákuummérő vagy kapacitás típusú vékony film vákuummérő

nagy vákuum

Az ionizációs vákuummérő fő felhasználása

10-1 -10 ^-6 Pa

Kompressziós vákuummérő

Ugyanakkor meg kell mérni az alacsony vákuumot és a nagy vákuumot, az összetett vákuummérőt (ionizációs vákuummérő és a hőelem vákuummérő kombinációja) vagy a nagynyomású ionizációs vákuummérőt

Hideg katódos ionizációs vákuummérő nagy vákuumteljesítményű vákuumberendezésekhez és alacsony követelmények esetén

  ultramagas vákuum (UHV)

BA típusú ionizációs vákuummérő

Az alacsony vákuumméréstől az ultra nagy vákuumig, a széles tartományú ultra nagy vákuummérőig vagy a kompozit ultra nagy vákuummérőig

10 ^-6 -10 ^-10 Pa

Hideg katód mágnesesen vezérelt ionizációs vákuummérő

nagyon nagy vákuum (XHV)

·

Hideg katód mágnesesen vezérelt ionizációs vákuummérő

U nder   10 ^-10 Pa

Forró katód mágnesesen vezérelt ionizációs vákuummérő

Javított baionizációs vákuummérő