A kondenzációs szivattyút szivattyúzás céljából alacsony hőmérsékleten felületre felszívják a gázt

1) A kondenzációs szivattyút szivattyúzás céljából alacsony hőmérsékleten felszívják a gázt kondenzálni. Ha hideg felület van a vákuumkamrában, kondenzáció lép fel rajta, amely szerepet játszhat a levegő elszívásában. Ez a kriogén kondenzációs szivattyú és a kriogén hidegcsapda működési alapelve. A telített gőznyomás szorosan kapcsolódik a hőmérséklethez, és amikor a hőmérséklet csökken, a telített gőznyomás csökken.

Az 1. táblázat a légkör standard összetételét mutatja. Az 1. ábra a különféle gázok telített gőznyomásának hőmérsékleti kapcsolat görbéjét mutatja. Amint az az 1. ábrából látható, amikor a hőmérséklet 20 K-ra csökken, kivéve a neont, hidrogént, héliumot és más nehezen kondenzálódó gázokat, a levegőben lévő összes többi komponens telített gőznyomása 10-10 torr alatt van. Így amikor a légmentesen zárt tartályt 20 K-ra hűtjük, a vákuum elérheti az 1,2E-3 torr értéket. 4,2k-nál csak hélium marad, és a vákuum 5e-5torr-ig terjedhet. A kondenzációs szivattyú hideg felületét általában körülbelül 14-20 kV-os hőmérsékleten lehet megválasztani, és az egyszerű kondenzációs gázzal történő öblítés vagy más szivattyúkkal való vákuumszivattyúzás módszerét alkalmazzák a hidrogén, a hélium és más nehéz kondenzációs gáz mennyiségének nagymértékű csökkentése érdekében a szivattyúban. rendszer. Egy kis mennyiségű, nehezen kondenzáló gáz, amely működés közben szivárog be a rendszerbe, más szivattyúkkal is eltávolítható.

[1. táblázat] standard légköri összetétel

[ÁBRA. 1] a különféle gázok telített gőznyomásának hőmérsékleti viszonyai

Az IKS PVD vagyunk Kínából származó vákuumbevonó gép gyártót, további részletek, kapcsolat: iks.pvd@foxmail.com