Vákuum tekercselési és bevonási technológia
May 18, 2019| Vákuum tekercselési és bevonási technológia
Ebben a tanulmányban a vákuumos tekercselési technológia fejlesztését a rendszerszerkezet, a paraméter-vezérlés és a bevonási módszerek szempontjából vizsgáljuk. A szerkezet szerint egykamrába, kettős kamrába és többkamrás vákuumos tekercselő rendszerbe osztható, az utóbbi kettő megoldhatja a feltekerés és a leeresztés problémáját, illetve a tekercselési és bevonási kamra vákuumszintjét. A kanyargós feszültségvezérlés kúpos, közvetett és közvetlen vezérlési modelljei megoldhatják a film hajtogatásával és a radiális erő egyenetlen eloszlásával kapcsolatos problémákat. A közvetett feszültségszabályozáshoz nincs szükség érzékelőre, amely helyettesíthető a beépített feszültségszabályozó modullal rendelkező vektor konverterrel. A közvetlen feszültségszabályozás pontosan méri a feszültséget a feszültségérzékelőn keresztül, de különböző paramétereket igényel, mint például a tehetetlenségi nyomaték és a szögsebesség. filmek, nanoanyagok, például grafén és félvezető eszközök, például rugalmas napelemek. Figyelembe véve a vákuumos tekercselési technológia kutatási státuszát és az iparosodáshoz való átmenet problémáit, végül rövid elemzést és kilátást készítenek.
A vákuum tekercselő bevonat (tekercselés a tekercsre) egy olyan technológia, amely a rugalmas szubsztrátum folyamatos bevonását különböző módszerekkel vákuumban hajtja végre. Magában foglalja a vákuumgyűjtést, az elektromechanikus vezérlést, a nagy pontosságú átvitelt és a felületi elemzést. A legfontosabb szempont a tekercselési sebesség javítása, a bevonat stabilitásának ellenőrzése és az on-line monitorozás végrehajtása a bevonat minőségének garantálására. A roll-to-roll technológia előnye az alacsony költség, könnyű kezelés, kompatibilitás a rugalmas hordozóval, magas termelékenység és folyamatos többrétegű bevonat. Az első vákuum elpárologtató tekercselő és bevonó gépet 1935-ben gyártották, és most a burkolat szélessége 500 és 2500 mm között lehet. Az utóbbi években a roll-to-roll technológia alkalmazása fokozatosan bővült a csomagolástól és a dekoratív filmből a lézeres hamisítás elleni filmre, a vezetőképes filmre és más funkcionális filmre, amely a jövőbeni rugalmas elektronikai ipar egyik fő technológiája.
1. A vákuum tekercselő és bevonó berendezések osztályozása
A vákuumtekercs a tekercsberendezéshez vákuumszivattyúzó, tekercselő, bevonó és elektromos vezérlőrendszerekből áll. A vákuumkamra elosztó nélkül, egy kamrára, kettős kamrára és többkamrás szerkezetre osztható. Az egykamrás görgők és görgők ugyanabban a helyiségben, egyszerű szerkezet, de a szétnyíló levegő szennyezi a vákuum környezetet. A kettős kamra szerkezete a rendszert egy tekercselő és bevonó kamrába osztja, és a lemez és a terelőlemez közötti rés körülbelül 1,5 mm, ami megakadályozza a hasonló szétbontó deflációs problémát. A többkamrát gyakran használják kompozit filmek készítéséhez. A kettős kamra alapján a szomszédos bevonófelületeket az interferencia elkerülése érdekében terelőlapok választják el. Például Krebs et al. rögzítette a Flexibles AB fúvóka tonhalát két mágneses sputterező célpont és a lemez mindkét oldalán bevont 50 m-es rézréteg között.
Minél kisebb a rés a terelőlemez és a vákuumkamra fala között, annál jobb. A bevonóhenger szerint a henger egyetlen főhengerre és több főhenger tekercselő bevonó gépre oszlik. A motorszám szerint két motorra, három motorra és négy motoros hajtóműre osztható.
2. összefoglaló és kilátások
3. Nagy területe, alacsony költsége, folytonossága és egyéb jellemzői miatt a vákuumcsévélő bevonat nagy előnye van az időszakos bevonatnak, és széles körben érintett a hazai és külföldi kutatók és vállalkozások számára. Jelenleg a tekercselési és bevonási technológia gyors fejlődést eredményezett, és megoldotta a problémákat, mint például az üreges vonalak, a fehér csíkok és a ráncok. Új funkcionális közegek és eszközök, például grafén, szerves napelemek és átlátszó vezetőképes filmek előállítására használják. Ezért a filmkészítési folyamat és a filmképzés minősége magasabb követelményeket támaszt. A vákuumegység fő szivattyúját a nagy szivattyús sebességű diffúzor-szivattyúból az olajmentes ultra-nagy vákuum-molekuláris szivattyúba és a kriogén szivattyúba fejlesztették ki, és a kettős hűtésű tekercsbevonó gép nagy szögű szöggel van kialakítva, hogy csökkentse a a film feszítő deformációja. A feszültségszabályozásban széles körben alkalmazzák a kanyarodási modellt, amely figyelembe veszi a csipet indukált feszültséget és az egyetlen spin nemlineáris dinamikus modellt.
Jelenleg a tekercselés és a bevonat precíziós vezérlését javítani kell. Például, ha a grafént átvisszük, nehéz a pirolitikus ragasztót teljesen eltávolítani a szubsztrát és a grafén között, és a túlzott tekercselési sebesség vagy a kemény hordozó által okozott nyírófeszültség repedéseket vagy lyukakat okoz a grafénrétegben. Egy másik példa, hogy a vákuumos tekercseléssel készített szerves film felületi hibái sokak, és a hordozó mozgása alacsony, ami súlyosan befolyásolja az eszköz fotoelektromos jellemzőit. A jövőben hozzá kell adni a mérő- és vezérlőegységeket, például a feszültséget, és a filmképző technológiákat, például a CVD-t, az ionos bevonatot, a nagyfeszültségű elektrosztatikus fonást, a vákuum-befecskendezést és az in situ polimerizációt be kell építeni, hogy garantálják a új szerves és szervetlen kompozit funkcionális filmek és eszközök kifejlesztése.