A videó dekódolja a molekuláris szivattyú működési elvét

A videó dekódolja a molekuláris szivattyú működési elvét

https://v.qq.com/x/page/q1346vypd11.html

Hogyan működnek a molekuláris szivattyúk?

működési elv:

A molekuláris szivattyú szivattyú mechanizmusa különbözik a mechanikus szivattyú szivattyú mechanizmusától, amely a szivattyúkamra térfogatának megváltozására támaszkodik a levegő elszívása érdekében.

A molekuláris szivattyút a motor hajtja meg, hogy nagy sebességgel forogjon. A molekuláris áramlási tartományban a gázmolekulák ütköznek a nagysebességű pengefelülettel, és a lendület átkerül a gázmolekulákba, így a gázmolekulák egy része a merev testfelület irányába mozog, és kiürülnek a szivattyúból , hogy elérje a levegő elszívását. Általában a merev testfelület nagy sebességű mozgásával szállítják a gázmolekulákat, és mozgatják a molekuláris vontatási jelenség néven ismert irányba, ezt a jelenséget a vontatási molekuláris szivattyúnak (szivattyúnak) nevezett vákuumszivattyúból használva. A vontató molekuláris szivattyú előnye, hogy a kezdési idő rövid, a molekuláris áramlási állapotban magas a sűrítési arány, képes eltávolítani mindenféle gázt és gőzt, különösen alkalmas nehezebb gázok extrahálására. Mivel azonban a vontatási molekuláris szivattyú pumpálási sebessége kicsi, a tömítésrés túl kicsi, a munka megbízhatósága gyenge, könnyen mechanikai meghibásodáshoz vezethet, és a gyártási nehézségeket valójában ritkán használják. Később továbbfejlesztették a vontatási molekuláris szivattyút, és megjelent a turbó molekuláris szivattyú.

A turbomolekuláris szivattyú többféle váltakozó forgórész-pengével és rögzített rotorlapáttal rendelkezik, és sok dőlésszögű penge van egy bizonyos szögnél az egyes pengéknél, amint az a 4. ábrán látható. 1. A tényleges turbó molekuláris szivattyú többlépcsős kaszkádból áll, nevezetesen, hogy a működtető penge, a rögzített penge és a mozgó penge váltakozva vannak elrendezve. A mozgó pengék úgy működnek, mint az elektromos ventilátor lapátok, amikor forognak, és szivattyúzzák a gázt egyik oldalról a másikra. A molekuláris szivattyú sebességének növelése előnyös a molekuláris szivattyú pumpálási sebességének javításában. A penge sebességkorlátozása miatt, ha a gázmolekulák gyorsabban mozognak, nehezebb lesz pumpálni a vákuumot.

Látható, hogy a turbómolekuláris szivattyú egyfajta mechanikus vákuumszivattyú is. A nagy sebességű forgó többlépcsős turbinás rotorlapátok és a statikus pengék kombinációját használják a levegőelszíváshoz, amely a kompressziós arányt eredményezi a kinyert gáz számára a molekuláris áramlási területen, a kívánt vákuumteljesítmény elérése érdekében. A turbomolekuláris szivattyú végső vákuuma magasabb, mint a diffúziós szivattyú, akár 10 ^ -8 pa. Normál üzemmódban az első fokozat bizonyos vákuumszintjére van szükség, amely a szivattyútól függően kissé változik, általában 1 és 200 Pa között. A mechanikus szivattyú használható az első lépcsőfokozatú szivattyúként. A nagyvákuumú egység molekuláris szivattyúból és mechanikus szivattyúból áll. A turbó molekuláris szivattyú nagy sebessége miatt általában motor hajtja, és ha az áramellátási frekvencia 300-400 Hz között van. A turbomolekuláris szivattyúk általában vízhűtésesek.

Az összetett molekuláris szivattyú turbomolekulációs szivattyú és vontatási molekuláris szivattyú sorozat kombinációja, amely egyesíti a két szivattyú előnyeit egybe, és széles nyomástartományban lehet, 10 ^ -6-1pa, nagyobb szivattyúzási sebességgel és magasabb tömörítési arány, amely jelentősen javítja a szivattyú kimeneti nyomását.

  működési feltételek :

(1) a rotor sebessége eléri a 20000r / perc értéket, tehát a molekuláris szivattyú indulási ideje viszonylag hosszú.
(2) a gáz molekuláris áramlási állapotban van, ezért fel kell szerelni az első fokozatú szivattyúval. Általában a forgólapát-szivattyút alkalmazzák az első fokozatú szivattyúként

A molekuláris szivattyú tulajdonságai:

Olajkenő molekuláris szivattyú: a kenőolaj mennyisége kicsi, és az előző szakasz vákuum szakaszában a vákuumkamra szennyeződése kicsi.
Zsírozó molekuláris szivattyú: a zsír mennyisége nagyon kicsi, az előzetes szakaszban lévő száraz szivattyú szinte olaj nélkül tiszta vákuumot kaphat.
Teljes mágneses szuszpenziós molekuláris szivattyú: nincs szükség kenésre, száraz szivattyúval használható, tiszta vákuum környezetben olaj nélkül.

Egyéb általános alkalmazások:

1. Elemzés (tömegspektrometria, elektronmikroszkóp stb.)
2. Félvezetők (elektronikus alkatrészek, integrált áramkörök, rugalmas napelemek stb.)
3. Optika / üveg (hővédelem, visszaverődésgátló, visszaverődés, optikai szűrő)
4. Bevonat (felületvédelem, dekoratív festék, kijelző, képernyő)
5. Vákuumkohászat (vákuumkemence, vákuumforrasztás, vákuumszinterelés, vákuumötvözet)
6. Szivárgás észlelése (vákuumrendszer, jármű üzemanyag-tartálya, légzsák)
7. Kutatási kísérletek (orvosi mágneses rezonancia képalkotás, nukleáris részecskefizika, fúziós kutatás, lézeres alkalmazások és még sok más)
8. Lámpagyártó ipar és a kapcsolódó iparágak

Az IKS PVD bevonógép a mágneses lebegő turbó molekuláris szivattyút használja. vegye fel velünk a kapcsolatot, hogy további részleteket kapjon a PVD vákuumbevonó gépről, iks.pvd @ foxmail.com