Az optikai bevonat gyakori problémáinak elemzése és javítása

Az optikai bevonat közös problémáinak elemzése és javítása

A bevonó termékek közös problémáit részben maga a bevonási folyamat okozza, és néhányat a korábbi mérnöki munkák hagynak. A bevonat végső minősége a teljes optikai komponens feldolgozásának átfogó tükröződése (különösen a polírozás és a tisztítás). Tényleg megtaláljuk az okot, és az ellenintézkedések javítása eredményeket érhet el.

Először is, a film erőssége

A filmszilárdság a lencse bevonatának fontos mutatója és a bevonási folyamatok közös eleme.

A film erőssége (gyenge film) főként a következőképpen van kifejezve:

1 Törölje le vagy szakítsa ki egy speciális szalaggal, hogy egy darab hámlást hozzon létre;

2 Töröljön vagy szakítson egy speciális szalaggal, hogy pont-csökkenést hozzon létre;

3 percig 15 percig forraljuk, majd egy speciális szalaggal húzzuk, hogy egy pontot vagy pelyheket lehessen levenni;

4 Speciális gumifejjel és 40-szer dörzsölve 1Kg erővel van egy út a gyártáshoz;

5 A film törlődik vagy nem törlődik repedésekkel a teknős és retikuláris vonalakban.

Fejlesztési ötletek: A szubsztrát és a film kombinációja az elsődleges szempont, amelyet a filmfelület keménységének sima és filmstressz követ.

A film szilárdságának okai és ellenintézkedései:

1 A szubsztrát és a filmréteg kombinációja.

Általánosságban elmondható, hogy a visszaverődés elleni filmben ez a gyenge film fő oka. Mivel az aljzat felülete az optikai hideg feldolgozás és tisztítás során elkerülhetetlenül káros szennyeződéseket tartalmaz a felülethez, az aljzat felületén az optikai hidegfeldolgozás és a károsodásrétegben lévő szennyeződések (pl. vízgőz), olajgőz, tisztítófolyadék, törlő folyadék, polírozó por, stb., ahol a fő vízgőz van, nehéz általános módszerekkel eltávolítani, különösen a jó hidrofilitás és erős adszorpcióval rendelkező szubsztrátok esetében. Amikor a filmmolekulák ezekre a szennyeződésekre felhalmozódnak, a filmréteg tapadását befolyásolja, ami befolyásolja a film szilárdságát.

Ezen túlmenően, ha a szubsztrát hidrofil és gyenge az adszorpcióban, a filmréteg adszorpciója is rossz, ami szintén befolyásolja a film szilárdságát.

A nitrát anyag kémiai stabilitása gyenge. Az előfeldolgozás során az aljzat folyamata során a felület korrodálódott, korróziós réteget vagy hidrolízis réteget képez (talán helyi, rendkívül vékony). Amikor a fóliát a korróziórétegre vagy a hidrolízisrétegre helyezzük, az adszorpció gyenge, és a film szilárd.

A szubsztrátum felülete piszkos, olajfoltok, szürke foltok, nyálpontok stb., És a helyi filmréteg rögzítve van, ami helyi film szilárdságát eredményezi.

A stratégia javítása:

(1) Meg kell erősíteni a zsírtalanító kezelést. Ha ez ultrahangos tisztítás, akkor az olaj eltávolító funkciójára és az olajoldat hatékonyságára kell összpontosítania; ha kézzel dörzsöli, tisztítsa meg a kalcium-karbonátporral való tisztítást.

(2) Meg kell erősíteni az előkészítő sütést, a körülmények lehetővé teszik, a szubsztrát hőmérséklete elérheti a 300 ° C-ot vagy jobb, a hőmérséklet 20 percnél hosszabb, és a vízgőz és az olajgőz a szubsztrát felületén el kell párologni. sokkal többet. * Megjegyzés: A hőmérséklet magasabb, a szubsztrátum adszorpciós kapacitása megnő, és könnyen porolható. Ezért javítani kell a vákuumkamra tisztaságát. Ellenkező esetben a szubsztrátum a tapadás előtt por tapadást eredményez, ami másokon kívül hatással van a film szilárdságára. (A vízgőz kémiai deszorpciós hőmérséklete a hordozón vákuumban 260 ° C felett van). De nem minden alkatrésznek szüksége van magas hőmérsékletű sütésre, és néhány nitrát magas hőmérsékletű, de a film erőssége nem magas, és színes foltok lesznek. Ennek nagy a kapcsolat a stresszel és az anyag termikus illesztésével.

(3) Feltételek esetén a készülék kondenzációs géppel (PLOYCOLD) van felszerelve. A vákuumszivattyú sebességének növelése mellett a vízgőz és az olaj és a gáz is eltávolítható.

(4) A gőzlerakódás vákuumszintjének növelése érdekében az 1 m-nél nagyobb bevonógépnél a gőzfelvevő indítás vákuumának nagyobbnak kell lennie, mint 3 * 10-3Pa, annál nagyobb a bevonógép. vákuum a gőz-lerakódás.

(5) Ha a feltétel teljesül, az egység ionos forrással van ellátva, amelyet a burkolás előtt bombáztak, megtisztítja az aljzat felületét, és segíti a bevonási folyamatot, amely elősegíti a filmréteg tömörségét.

(6) A filmanyag szárítása és az alkalmazandó filmanyag a szárítandó vákuumkamrába kerül.

(7) Tartsa szárazon a munkakörnyezetet (beleértve a lencsetörlést, a felső esernyő munkaterületet), és ne hozzon túl sok vizet a munkahelyi környezet tisztításához.

(8) A többrétegű fóliák esetében a filmrendszer kialakításakor figyelembe kell venni a fólia és az aljzat illeszkedését, és az Al2O3 filmanyagot a lehető legnagyobb mértékben figyelembe kell venni, ami jó adszorpciós erővel bír a legtöbb felületre. . Fémfóliák esetében is lehetséges a rétegelt Cr vagy Cr ötvözetek vizsgálata. A Cr vagy Cr ötvözet jó adszorpciós erővel rendelkezik az aljzatra.

(9) A polírozó folyadék (polírozó folyadék) eltávolítása a korrózióréteg eltávolításához (hidrolízis réteg) a lencse felületén.

(10) Néha hasznos a párolgási sebesség megfelelő csökkentése a fólia szilárdságának javítása érdekében, és pozitív hatással van a filmfelület simaságának javítására.

3 külső filmfelület keménysége:

A visszaverődésgátló film külső rétege általában MgF2, és a film keresztmetszete laza oszlopszerkezet, és a felületi keménység nem magas, és könnyen eltávolítható a pálya.

A stratégia javítása:

(1) A membránrendszer kialakítása esetén a külső réteg kb. 10 nm-es SiO2-réteggel van bevonva. A szilícium-dioxid felületi simasága jobb, mint a magnézium-fluorid (de a szilícium felületi kopásállósága és keménysége nem olyan jó, mint a magnézium-fluorid). Néhány perc elteltével a szilárdság hatása jobb lesz. (de a felület vastagabb lesz)

(2) Miután a lencse kilépett a vákuumkamrából, viszonylag száraz és tiszta helyre kerül, hogy gyorsan elnyelje a nedvességet és csökkentse a felületi keménységet.

4 egyéb

A film szilárdságának oka, hogy a vákuum mértéke túl alacsony (hajlamos a kézi vezérlésű gépben előfordulni), a vákuumkamra piszkos, és az aljzat nem fűtött.

Amikor a segédgáz betöltődik, a filmanyagot is leeresztjük, úgyhogy a vákuum mértéke csökken, a molekuláris szabad útvonal csökken, és a filmréteg nem erős. Ezért a segédgáz töltésének figyelembe kell vennie a filmanyag szellőztetését. A fóliázás előtt a fólia teljesen elolvadt és teljesen leeresztett, és a vákuum mértéke túlságosan lecsökken a film anyagának a gőz lerakódásakor történő szellőzése miatt, ezáltal befolyásolja a film szilárdságát.

5 sztrippelés

Bár a kioldódó fólia is gyenge film, az eltérést mutat a fent említett felszabadulási filmtől. A főbb jellemzők a következők: spot-szerű kiadás, szélső kiadás és részleges kiadás.

Ennek fő oka a szennyeződés vagy a szennyeződések jelenléte a membránban.

Javítási módszer: Az aljzat tisztaságának javítása.

A membránpontok a bevont termékekben is gyakori probléma. Japánban és Tajvanon a filmpontokat "spot lyukaknak" nevezik.

Amint azt a neve is sugallja, a filmpont a gőz lerakódása. A nagy részecske filmpont a gőz felszínén elhelyezett gőz a film gőzmolekuláival együtt. Az aljzat felületét pontszerűen kiálló részekkel, néha egyes pontokkal képezik. Súlyos esetekben darabokra formálódik. A finom foltok, a nagy részecskék akár az aljzat felületét is károsíthatják.

A különböző filmanyagok párolgási jellemzői eltérőek, különösen az olvadáspont hőmérséklete és a párolgási hőmérséklet nagyon eltérőek.

olyan anyag, amelynek olvadáspont-hőmérséklete nagyobb, mint a párolgási hőmérséklet, amelyet közvetlenül szilárd anyaggal elpárologtat, és szublimációs anyag;

1. Olyan anyag, amelynek olvadáspontja alacsonyabb, mint a párolgási hőmérséklet, amelyet szilárd állapotban folyékony állapotba alakítanak át, majd gáznemű állapotba párologtatják, ami nem szublimációs anyag;

Olyan anyag, amelynek olvadáspont-hőmérséklete megegyezik a párolgási hőmérsékletgel, szilárd anyagról gázneműre párolog, és olvadás közben elpárolog. Ez egy félszublimációs anyag.

Ezek közül a nem szublimációs anyag könnyen előállítható filmanyag-pontként, mivel a folyékony filmanyag továbbra is melegszik és forralja, és a film anyagában lévő buborékok forró anyag túlcsordulásánál, valamint a film anyagpontjának fröccsenésének lehetőségével. megnövekedett. Néha van egy csomó fröccsenés, amikor az anyagot előolvasztják.

A film anyag nedves, és a vízgőz az olvadás vagy elpárologtatás során kifolyik, ami szintén fröccsenést okoz.

IKS PVD, optikai bevonó gép, OPT-2700, forduljon a iks.pvd@foxmail.com webhelyhez, hogy most megkérdezze a gép paramétereit.