A PVD bevonat gyártási folyamatának hatása a bevonat vastagságára

A PVD bevonási folyamat legfontosabb tényezője a rögzítési módszer, amely meghatározza a bevonat vastagságát és egyenletességét. És nem kétséges, hogy a bevonat vastagsága befolyásolja az élettartamát. Azonban nem minél vastagabb a bevonat, annál jobb a várható élettartam. Ugyanazon munkadarabon a különböző alkalmazások eltérő vastagságot igényelnek. Különböző vastagságú különböző munkadarabok is szükségesek. Tehát a bevonat vastagságának szabályozása fontos.

A bevonat vastagságát elsősorban a bevonási eljárás határozza meg. Bizonyos eljárásokban a bevonat vastagsága bizonyos tartományban van, és a bevonat vastagsága lényegében ezen a tartományon belül változik. Azonban a munkadarab rögzítési módja is nagymértékben befolyásolja a bevonat vastagságát. Megfelelő befogás esetén a bevonat vastagsága meghaladja a program által beállított tartományt.

A munkadarab forgási dimenziója befolyásolja a bevonat vastagságát. A munkadarabokat a kamrában a bevonás közben forgatni kell. A munkadarab három forgatási módja van: egydimenziós forgatás, kétdimenziós forgatás és háromdimenziós forgatás. Ugyanazon bevonási eljárásnál, annál nagyobb forgási méretek, a vékonyabb bevonat. A kétdimenziós spin bevonat vastagsága körülbelül háromszorosa a háromdimenziós spin bevonat vastagságának, és az egydimenziós spin bevonat vastagsága kb. 1,5-szerese a kétdimenziós spin bevonat vastagságának. Feltételezve, hogy a háromdimenziós forgás bevonat vastagsága 2um, majd a kétdimenziós forgó munkadarab bevonat vastagsága körülbelül 3um, míg az egydimenziós forgó spin bevonat vastagsága elérheti a 4.5um vagy annál nagyobb értéket.

A munkadarab befogásakor a munkadarab sűrűsége befolyásolja a bevonat vastagságát is. A munkadarab bevonat vastagsága, ahol az erősen rögzített, és a munkadarab bevonat vastagsága, ahol gyengén ragaszkodik, nagy.

A fenti ábrán a bevonat vastagságának eloszlása látható egy főzőlap egyetlen fogán. Az alábbi ábra mutatja a bevonat vastagságának eloszlását a fúró különböző helyzetében.

Így látható, hogy a szerszám különböző részeinek vastagságát nagymértékben befolyásolja a rögzítés, ezért a tapadás alapján kell meghatározni a rögzítési módszert.