Elektron-sugárzás párolgása

Elektronsugár elpárologtatása

Párolgási technológia - elektron sugárzási párolgás

Vákuum-bepárló bevonat: Olyan eljárás, amelyben egy szilárd anyagot nagy vákuumban melegítünk, hogy szublimáljuk vagy elpárologtassuk, és egy adott szubsztrátumon lerakjuk a film előállításához.

Vákuum elpárologtatási technológia besorolása:

Ellenállás termikus párolgás

2. Elektronsugár elpárologtatása

3. Nagyfrekvenciás indukciós bepárlás

4. Lézersugár elpárolgása

Egy általánosan használt ellenállásfűtéses bepárlási eljárás az, hogy az elpárologtatandó anyagot egy ellenállás-fűtőberendezésbe helyezzük, és az áramkörben lévő ellenállásfűtés az elpárologtató hőt a lerakandó anyag elpárologtatásához biztosítja. Ebben az eljárásban a leggyakrabban használt hordozófűtőanyagok a tűzálló fémek, például a volfrám, a tantál és a molibdén, amelyek mindegyike magas olvadásponttal és alacsony gőznyomás-jellemzőkkel rendelkezik. A hordozó fűtőanyag általában izzószál vagy fólia.

Mint látható, a fűtőberendezés vékony volfrám / molibdén drótból (0,05-0,13 cm átmérőjű) készül. A párologtatót közvetlenül az izzólámpa fűtőberendezésére helyezzük. Fűtés közben az elpárologtató nedvesíti az ellenállási huzalt, és a felületi feszültséget támasztja alá. Egy tipikus, többszálú huzal nagyobb felületet biztosít, mint egy szál. Az ilyen típusú fűtőberendezésnek négy fő hátránya van:

(1) Csak fémek vagy egyes ötvözetek elpárologtatására használhatók: \ t

(2) Egy bizonyos idő alatt csak korlátozott mennyiségű párolgott anyag elpárolog:

(3) Fűtéskor a párologtató anyagnak meg kell nedvesítenie az ellenállási huzalt:

(4) Fűtés után ezek az elektromos szálak törékenyek lesznek, és ha nem megfelelően kezelik, törnek.

A homorú fólia volfrám, tantál vagy molibdén lemezből készül, és a vastagsága általában 0,005-0,015 hüvelyk. Ez a párolgási forrás eszköz a legmegfelelőbb, ha csak kis mennyiségű párolgási anyag van. Vákuumban melegítve a volfrám, a tantál vagy a molibdén törékeny lesz, különösen akkor, ha az elpárologtató anyaggal ötvözik őket.

Az elektromos yang fűtési párolgás fő hátrányai:

(1) A támasztótégely és az anyag reagál a párologtatóval.

(2) Nehéz elég magas hőmérsékletet elérni a dielektromos anyagok, például A1203, Ta2O5, TiO2 és hasonlók elpárologtatására.

(3) A párolgási sebesség alacsony.

(4) Az ötvözet vagy a vegyület hevítéskor bomlik.

Elektron-sugár elpárologtatás: Olyan eljárás, amelyben a párologtató anyagot vízhűtéses tégelybe helyezzük, és közvetlenül egy elektronsugárral melegítjük, hogy elpárologtassuk a párologtató anyagot és kondenzálódjunk a szubsztrátumon, hogy egy vékony filmet képezzünk.

Az ellenállás-melegítéssel történő bepárlás hátránya, hogy az eljárás nem alkalmas nagy tisztaságú vagy magas olvadáspontú anyagok elpárologtatására, és az elektronsugár elpárologtatása képes leküzdeni ezt az ellenállási párolgás hiányát, és így az elektronsugaras fűtés magas olvadáspontú film és nagy tisztaságú. A film fő módszere. Az elektronsugár elpárologtatási technológiában egy 5-10 kV-os elektromos mező elhaladása után az elektronsugár gyorsul.

Végül fókuszáljon az elpárologtatni kívánt anyag felületére. Amikor az elektronsugár eléri az elpárologtatni kívánt anyag felületét, az elektronok gyorsan elveszítik energiájukat, átadják az energiát az elpárologtatandó anyagnak, hogy megolvadjon és elpárologjon, azaz az elpárologtatni kívánt anyag felülete közvetlenül felmelegszik az ütköző elektron sugár által. A fűtési módszer nagyon eltérő.

Mivel az elpárologtatni kívánt anyagot tartalmazó tégelygel érintkező párologtató anyag szilárd marad a párolgási lerakódási folyamat során, a minimálisra csökken az a lehetőség, hogy az anyagot a tégelygel reagáltatjuk. Az elektronsugár elpárologtatásakor az anyagok elpárologtatása közvetlenül az elektronsugaras fűtés útján vízhűtéses tégelyekben elpárolog. Az aktív anyagok, különösen az aktív tűzálló anyagok elpárologtatásához a tégely vízhűtése szükséges. Vízhűtéssel elkerülhető a párologtató anyag és a tégelyfal közötti reakció, és így nagy tisztaságú fóliát állíthatunk elő.

Az elektronsugár elpárologtató rendszerben az elektronsugarat létrehozó eszköz elektronpisztoly lesz. Különböző elektronikus fókuszálási módszerek szerint az elektronpisztoly egy gyűrűs pisztolyra, egyenes pisztolyra és egy e-pisztolyra osztható.

A gyűrűs pisztoly egy elektronsugarat bocsát ki egy gyűrű alakú katódból, amelyet a katódgyűrű elhajol, majd az 坩 埚-t (

Az anyagot az anódban elpárologtatjuk, ahogy azt a szerkezeti rész mutatja. A gyűrűpisztoly típusszerkezete egyszerű, költséges

Alacsony, könnyen használható. Mivel azonban a gyűrűpisztoly katódja nagyon közel van az anódhoz, könnyen lebontható.

A huzal könnyen szennyezett; ugyanakkor rögzítették az elektronsugár helypozícióját, és könnyen megjeleníthető

Pit "Evaporation. Mivel a gyűrűpisztoly teljesítménye és hatékonysága nem magas, kevesebbet használtak.

Előnyök: egyszerű szerkezet, olcsó és könnyen használható

Hátrányok: Az izzószál könnyű hullámszennyezése

A helymeghatározás hajlamos a "gödör" párolgására

A teljesítmény és a hatékonyság nem magas

Egy egyenes pisztoly egy tengelymérő lineáris gyorsító pisztoly. A fűtőszálból kibocsátott elektronsugarat az anód felgyorsítja, majd mágneses mezővel fókuszálja, majd a tégelyben lévő anyaggal bombázza, hogy megolvadjon és elpárologjon. Ezek közül az xy eltérítő tekercs hatása Az, hogy a fókuszált elektronnyaláb kis tartományban mozogjon, úgy a fókuszpont helyzete beállítható.

Előnyök: könnyen kezelhető; nagy teljesítménytartomány (több száz watt és több száz száraz watt) könnyen beállítható

Hátrányok: A berendezés terjedelmes, a szerkezet bonyolult, és a költség magas: a falu anyagának elpárolgása szennyezi a pisztoly testét, és az izzószálból kilépő nátriumionok foltot okoznak.

Az e-pisztoly egy elektronpisztoly, amely 270 ° -kal elfordítja az elektronsugarat, és az "e" alakú elektronvonalból van elnevezve.

Az izzószálból kibocsátott elektronsugarat több ezer voltos feszültségű feszültséggel gyorsítja és megérinti

Miután a mágneses mezőt 270 ° -kal elhajolták , a tégelyben lévő elpárologtató anyagot megolvasztják és elpárologtatják.

Előnyök: Kerülje el az izzószál szennyeződését a párologtató anyaggal és az izzószál szennyeződését vékony szálral

Nagy teljesítmény (kb. 10 kW). Gőzölhető magas olvadáspont

A párologtató részecskék nagy energiájúak, a filmnek az aljzathoz való tapadása nagy, és a filmképző minőség jó.

Hátrányok: nagy vákuum szükséges, és nagyfeszültségű berendezésekre van szükség. A berendezés szerkezete bonyolult, nehéz karbantartani, és a berendezés költsége magas.

Az elektromos sugárzás elpárologtatásának előnyei a következők: (1) A párologtató anyagot közvetlenül melegítheti, csökkentheti a hőveszteséget, és nagyobb termikus hatékonysággal rendelkezik: (2) Az elektronsugár által generált energia sűrűség nagy, és az anyag magas az olvadáspont (3000 ° C- nál nagyobb ) elpárologhat. és nagyobb párolgási sebességgel rendelkezik: (3) A párologtatóanyagot tartalmazó tégely hideg vagy vízzel hűtött, ami elkerülheti a párologtató anyag reakcióját és a tartály anyagának bepárlását, ezáltal javítva a film tisztaságát.

A hátrányok a következők: (1) A fűtőberendezés bonyolult: (2) Az egyenes térben lévő maradék gázmolekulák és a részlegesen elpárologtatott anyag gőzei az elektron sugárral ionizálódnak, ami befolyásolhatja a szerkezet szerkezetét és fizikai tulajdonságait. a film.

Az IKS-OPT2700 egy elektronsugaras elpárologtató bevonó gép, bármilyen kérdés, vegye fel a kapcsolatot: iks.pvd@foxmail.com