Általános tudás a vákuumszivattyúról
Mar 13, 2019| Általános ismeretek a vákuumszivattyúról
1. A vákuum előállítására szolgáló eljárás
A zárt tartályból gázt kivezető berendezést, vagy a tartályban lévő gázmolekulák számának csökkentését vákuumgyűjtő berendezésnek vagy vákuumszivattyúnak nevezik. Jelenleg a vákuumtechnológiában különböző módszereket alkalmaztak 105Pa és 10-13pa közötti, legfeljebb 18 nagyságrendű nyomás elérésére és mérésére. Nyilvánvaló, hogy nagyon nehéz a gázállapotot ilyen széles, alacsony nyomású térben csak egyfajta vákuumszivattyúval elérni.
A vákuum megszerzésének technikájában jelenleg két módja van a vákuum elérésének. Az egyik az, hogy a gázt közvetlenül a zárt tartályból egy bizonyos mechanizmus mozgása révén ürítsük ki. A másik az, hogy fizikai és kémiai módszerekkel adszorbeálják vagy kondenzálják az alacsony hőmérsékletű felületen lévő gázmolekulákat. A két módszerrel sokféle vákuumszivattyú áll rendelkezésre, és az osztályozási módszerek különbözőek. Azonban a leggyakrabban használt módszer a vákuumszivattyúk munkamódszereik vagy szerkezeti jellemzőik szerinti osztályozása. Ezt a következő részben fogjuk tárgyalni.
2. A vákuumszivattyúk osztályozása
A vákuumszivattyú működési elve szerint a vákuumszivattyú alapvetően két típusra osztható, azaz a gázszivattyú és a gázfelvevő szivattyú. Ahogy a vákuum alkalmazás technológia a termelés és a tudományos kutatás területén a nyomás alkalmazásának igényeihez képest egyre szélesebb körű, többnyire szükség van arra, hogy a vákuumszivattyú vákuumos elszívó rendszerének kitermelése után több közös vonás is megfeleljen a gyártási és tudományos követelményeknek. kutatási folyamat, ezért a vákuumszivattyú szívási körülményei között többféle vákuumszivattyút válasszon. A kényelem érdekében ezeket a szivattyúkat részletesen kell besorolni munkamódjaiknak vagy szerkezeti jellemzőiknek megfelelően. Ezt a következőképpen írják le:
(1) Gázszivattyú
A gázátviteli szivattyú egy olyan vákuumszivattyú, amely a gáz folyamatos belélegzését és kiürítését teszi lehetővé a szivattyúzás céljának elérése érdekében. Ennek a szivattyúnak alapvetően két típusa van:
1) változó térfogatú vákuumszivattyú
A változó kapacitású vákuumszivattyú egy olyan vákuumszivattyú, amely a szivattyúkamra térfogatának rendszeres változtatását teszi lehetővé a szívás és a kipufogó folyamatának befejezéséhez. A gázt összenyomjuk, mielőtt kiürítjük. Ez a szivattyú két és két irányú forgó és forgó típusra van osztva:
(1) visszafolyó vákuumszivattyú: a szivattyú üregdugattyú dugattyús mozgásának, a gáz belégzésének, a préselésnek és a kiürítésnek a használata. Ezért dugattyús vákuumszivattyúként is ismert.
A forgó vákuumszivattyú: a szivattyúkamra dugattyújának használata a forgási mozgáshoz, a gáz belélegzéséhez, a kompresszióhoz és a kimenethez. A rotációs vákuumszivattyúnak a következő típusai vannak:
az olajtömítés vákuumszivattyúja: az olajtömítés használata a rés mozgó részei között, csökkenti a forgó változó kapacitású vákuumszivattyú káros helyét. Ez a szivattyú rendszerint levegő-ballasztos berendezéssel van felszerelve, más néven levegő-ballaszt vákuumszivattyú. Szerkezeti jellemzői szerint a következő öt típusra oszlik.
A) forgó lapát vákuumszivattyú: a szivattyúhéjba szerelt bizonyos excentrikussággal rendelkező rotor és a rotornyílás közelében lévő rögzített felület felületén lévő szivattyúhéj két (vagy több) forgólapával van felszerelve, amely a rotor forgó lapátjánál fogható sugárirányú rúdcsúszása és a szivattyúház falával való érintkezés mindig a rotor forgórészével, a szivattyúüreg több változó elmozdulásra osztható.
B) csúszógyűrűs vákuumszivattyú: a szelepet az excentrikus rotoron kívül helyezik el. A forgórész forog, hogy a tolózárat a szivattyúhéj belső falához csúsztassa és gördítse. A csúszószelep felső részén lévő csúszószelep-szár a csúszó szelepvezetőbe csúsztatható, és a szivattyúkamra két változó térfogatra osztható.
C) állórészes vákuumszivattyú: a szivattyú belső részéhez közel eső excentrikus forgórész van beszerelve a szivattyú burkolatába, és a szivattyú burkolatára egy radiális csúszó lapát van felszerelve, amely mindig érintkezik a rotor felületével. Amikor a forgórész forog, a csúszó lapát felfelé és lefelé mozoghat, hogy a szivattyúkamrát két változó térfogatra osztja.
D) trochoidos vákuumszivattyú: ecsetikusan felszerelt trochoid rotor a szivattyúkamrában, a szivattyúkamra belső fala mentén forog, és a szivattyúkamrát két változó térfogatra osztja.
E) többkamrás forgólapú vákuumszivattyú: több független, forgó lapát vákuumszivattyú, amelyet ugyanazon motor hajt, párhuzamosan van elrendezve egy szivattyúhéjban.
(2) Száraz vákuumszivattyú: nem olaj (vagy folyadék) zárt, változó térfogatú vákuumszivattyú.
(3) folyadékgyűrű vákuumszivattyú: a forgórész-excenter számos pengéjével, amely a szivattyúhéjban van elhelyezve, amikor elforgatja a folyadékot (általában vizet vagy olajat) a szivattyúhéj koncentrikus folyadékgyűrűjébe, folyadékgyűrűjébe és rotorlapátjába, néhány kisebb térfogatmennyiség-változás, más néven rotációs változó kapacitású vákuumszivattyú.
(4) gyökér vákuumszivattyú: a kettős pengék alakjának vagy a többlapátos forgórésznek két ellentétes forgásirányával felszerelt szivattyúja a rotor, a forgórész és a szivattyúhéjfal között egy bizonyos rés között van. A forgó vákuumszivattyúhoz tartozik. A mechanikus nyomásfokozó szivattyú az ilyen típusú vákuumszivattyú.
2) impulzusátviteli szivattyú
A szivattyú nagy sebességű forgó pengékre vagy nagy sebességű fúvókákra támaszkodik a gáz- vagy gázmolekulák lendületének továbbítására, úgy, hogy a gáz folyamatosan a szivattyú belépőhelyéről a kivezetésre kerül. Az egyedi típusok az alábbi típusokra oszthatók.
(1) molekuláris vákuumszivattyú: a nagy sebességű forgó rotor-energiaátvitel a gázmolekulákhoz való használata, így a tömörítés, a vákuumszivattyú kipufogása. A következő típusokból áll:
A vontató molekuláris szivattyú: a gázmolekulák és a rotor ütközésének nagy sebességű mozgása, és lendületet kaptak, ezért az exportra küldött, ezért egyfajta lendületszivattyú.
(2) turbina molekuláris szivattyú: szivattyú hornyos tárcsával vagy pengével, az állórész lemez (vagy állórész) forgásában. A rotor kerületének lineáris sebessége nagyon magas. A szivattyú általában molekuláris áramlási állapotban működik.
(3) összetett molekuláris szivattyú: turbinával és két típusú molekuláris szivattyú sorozatú kombinált molekuláris vákuumszivattyúval.
A vákuumszivattyú: ez egyfajta impulzusátviteli szivattyú, amely kihasználja a Venturi effektnyomáscsökkenést, hogy nagy sebességű sugárhajtót állítson elő gáz szállítására a kimenetre, amely alkalmas viszkózus áramlás és átmeneti áramlás állapotára. Ez a szivattyú részletesen megosztható a következőre:
Folyadék befecskendezésű vákuumszivattyú: folyadék (általában víz), mint az injekciós vákuumszivattyú munkaközege.
(2) gázbefecskendező vákuumszivattyú: nem kondenzálható gáz, mint az injektáló vákuumszivattyú munkaközege.
(3) gőzbefecskendező vákuumszivattyú: gőzre (víz, olaj vagy higany és más gőz), mint az injekciós vákuumszivattyú munkaközege.
A diffúziós szivattyú az alacsony nyomású nagy sebességű gőzáram (olaj vagy higanygőz), mint a vákuumszivattyú munkaközege. A gáz molekulái diffundálnak a gőzáramba, és a kimenetbe kerülnek. A gáz molekulatömege mindig nagyon alacsony a sugáráramban. Megosztható:
(1) öntisztító diffúziós szivattyú: a folyékony illékony szennyeződéseket speciális mechanikus átvitellel szivattyúzzák az exportra, és ne térjen vissza a kazánba egy olaj diffúziós szivattyúban.
(2) frakcionálási típusú diffúziós pumpa: ez a szivattyú egy frakcionáló készüléket tartalmaz, így a gőznyomás alacsony munkafolyamatú gőz a nagy vákuumszóró fúvókába, és a gőznyomás nagy munkafolyadékgőz a kis vákuumú munkafúvókába. egy többlépcsős olaj diffúziós szivattyú.
Diffúziós sugárszivattyú: egy impulzusszivattyú, amely egylépcsős vagy többlépcsős fúvókából áll, diffúziós pumpa jellemzőkkel és egyfokozatú vagy többlépcsős fúvóka, vákuumszivattyú-szivattyú jellemzőkkel sorozatban. Az olajfokozó szivattyú ilyen típusú.
Ionátvivő szivattyú: ez egy impulzusátviteli szivattyú, amely az ionizált gázt az elektromágneses mező vagy az elektromos mező hatására továbbítja a kimenetbe.
2. Gázrögzítő szivattyú
Ez a szivattyú egy gázmolekula, amely a szivattyú belső felületén adszorpciót vagy kondenzációt okoz, ezáltal csökkentve a gázmolekulák számát a tartályban a vákuumszivattyú szivattyúzásának céljának elérése érdekében, a következő típusok vannak.
1) adszorpciós szivattyú
Főként a fizikai adszorpció adszorbensének (például porózus anyagának) nagy felületére támaszkodik, hogy egy típusú vákuumszivattyút pumpáljon.
2) getter szivattyú
Ez egy vákuumszivattyú, amely Getter-et használ a gáz kémiai kombinációval történő rögzítésére. Olyan fém vagy ötvözet, amely általában egy csomó vagy lerakódott friss film formájában van. A szublimációs szivattyú ilyen típusú.
3) getter ionszivattyú
Az ionizált gázt az elektromágneses mező vagy az elektromágneses adszorpció hatására az anyag felületén kell belélegezni, a gáz szivattyúzásának célja érdekében. A következő formákban jelenik meg.
Párologtató ionszivattyú: olyan vákuumszivattyú, amelyben ionizált gáz adszorbeálódik egy szívóanyagra, amely szublimálva (vagy elpárologtatva) van folyamatos vagy folyamatos módon, és amelyet a szivattyú belső fala lefedi a szívás érdekében.
A porlasztó ionszivattyú: a szivattyú ionos gáz adszorpció a katéter folyamatos porlasztásával a getter anyagból, a vákuumszivattyú céljának elérése érdekében.
Alacsony hőmérsékletű szivattyú
Olyan vákuumszivattyú, amely alacsony hőmérsékletű felületet használ fel a gáz leeresztéséhez
3. Vákuumszivattyú teljesítmény-paraméterei és felhasználási tartománya
A vákuumszivattyú teljesítmény paraméterei
1) a vákuumszivattyú végső nyomása
A szivattyú végső nyomásegysége Pa, ami a legalacsonyabb stabil nyomásra utal, amikor a szivattyú a bejáratnál szabványos vizsgálati fedéllel van ellátva, és meghatározott körülmények között működik, anélkül, hogy a normál üzemhez gázot vezetne be.
2) a vákuumszivattyú kitermelési sebessége
A szivattyú szivattyúteljesítmény-egysége m3 / s vagy l / s, ami a vizsgálati fedélen áthaladó gázáram arányára és a vizsgálati fedél kijelölt helyzetében mért egyensúlyi nyomásra vonatkozik, amikor a szivattyú standard felszereléssel rendelkezik. vizsgálati fedéllel és meghatározott körülmények között működik. A szivattyú sebessége.
3) a vákuumszivattyú kitermelési kapacitása
A vákuumszivattyú kitermelési kapacitásának egysége Pa m3 / s vagy Pa l / s. A szivattyú bemeneti gázáramára utal.
4) a vákuumszivattyú kiindulási nyomása
A vákuumszivattyú kiindulási nyomásának egysége Pa, ami a szivattyú károsodás nélküli indítása és a szivattyúzás hatására utal.
5) a szivattyú előtti nyomása
A vákuumszivattyú nyomásegysége Pa, a kipufogógáz-nyomás kevesebb, mint a vákuumszivattyú kimeneti nyomásának egy légköre.
6) a vákuumszivattyú maximális fokozatos nyomása
A vákuumszivattyú-port maximális előnyomás-egysége Pa, ami azt a nyomást jelenti, amely meghaladja a szivattyút károsító előnyomást.
7) a vákuumszivattyú maximális üzemi nyomása
A vákuumszivattyú maximális üzemi nyomóegysége Pa, ami a beömlőnyomásnak felel meg, amely megfelel a szivattyúzott levegő maximális mennyiségének. Ezen a nyomáson a szivattyú tovább romolhat vagy károsodhat.
8) tömörítési arány
A tömörítési arány a szivattyú kimeneti nyomásának és az adott gáz bemeneti nyomásának aránya.
9) ho-együttható
A szivattyúcsatorna területén a tényleges szivattyúsebesség aránya a molekuláris effúzió alapján számított elméleti szivattyúsebességgel.
10) szivattyúzási sebesség koefficiens
A szivattyú tényleges szivattyúzási sebessége és a szivattyú bemenetén a molekuláris effúzióval számított elméleti szivattyúsebesség aránya.
11) reflux sebesség
A szivattyú reflux mértékegysége g / cm2. Arra kell mutatni, hogy a szivattyú a formális állapot szerint működik, a tömegáram, amely áthalad a szivattyú belépőegységénél.
12) megengedett mennyiségű vízgőz
A vízgőz megengedett mértéke kg / h, ami a vízgőz tömegáramára utal, amelyet a légterelő szivattyú a normál körülmények között folyamatos üzem közben eltávolíthat.
13) maximális megengedett gőznyomás
A gőzbefecskendezési nyomás maximális megengedett mértéke Pa. Ez a vízgőz maximális belépőnyomására vonatkozik, amelyet a ballasztszivattyú a normál környezeti körülmények között folyamatos üzem közben eltávolíthat.
4. A vákuumszivattyú használata
Mivel mindenféle vákuumszivattyúnak különböző üzemi nyomástartománya van, és a kiindulási nyomás, ezért a vákuumszivattyú kiválasztásának meg kell felelnie ezeknek a követelményeknek. A 3-1. Táblázat a különböző szokásos vákuumszivattyúk üzemi nyomás tartományát és kiindulási nyomását mutatja referenciaként.
3-1. Táblázat A szokásos vákuumszivattyúk üzemi nyomás tartománya és kiindulási nyomása
Vákuumszivattyú típus | Üzemi nyomás tartomány (Pa) | Indítási nyomás (Pa) |
Dugattyús vákuumszivattyú Rotációs lapát v vákuumszivattyú Vízgyűrű vákuumszivattyú Gyökér vákuumszivattyú Turbomolekuláris szivattyú Gőzszivattyú Olaj diffúziós szivattyú Olajgőzszivattyú Molekulaszűrő adszorpciós szivattyú Sputteráló ionszivattyú Titán szublimációs szivattyú Cirkónium-alumínium getter-szivattyú Alacsony hőmérsékletű szivattyú | 1 × 10 5 - 1,3 × 10 2 1 × 10 5 - 6,7 × 10 -1 1 × 10 5 - 2,7 × 10 3 1,3 × 10 3 - 1,3 1 .3 - 1,3 × 10 -5 1 × 10 5 - 1,3 × 10 -1 1,3 × 10 -2 - 1,3 × 10 -7 1,3 × 10 - 1,3 × 10 - 2 1 × 10 5 - 1,3 × 10 -1 1,3 × 10 -3 - 1,3 × 10 -9 1,3 × 10 -2 - 1,3 × 10 -9 1,3 × 10 - 1,3 × 10 -11 1,3 - 1,3 × 10 -11
| 1 × 10 5 1 × 10 5 1 × 10 5 1,3 × 10 3 1.3 1 × 10 5 1,3 × 10 <> × 10 5 1 × 10 5 6,7 × 10 -1 1,3 × 10 -2 1,3 × 10 1,3 - 1,3 × 10 -1
|
5. Vákuumszivattyú feladata a vákuumrendszerben
Mivel mindenféle vákuumszivattyú teljesítménye megfelel a tartály porszívózásának közös pontjának, még mindig vannak különbségek. Ezért nagyon fontos, hogy tisztázzuk a vákuumrendszerben a szivattyú munkafeladatait. A szivattyú funkciói a különböző munkaterületeken a következőképpen foglalhatók össze
1) a rendszer fő szivattyúja
Az úgynevezett fő szivattyú az a vákuumszivattyú, amely közvetlenül a vákuumrendszert vízteleníti az edény által pumpálva annak érdekében, hogy a technológiai követelmények teljesítéséhez szükséges vákuumszintet elérje.
2) durva szivattyú
A nyers szivattyú a vákuumrendszerre vonatkozik a légköri nyomás alól, hogy csökkentse egy másik szivattyúrendszer nyomását, amely elindíthatja a vákuumszivattyút.
3) első lépcsős szivattyú
Az első lépcsős szivattyú egy vákuumszivattyú, amelyet egy másik szivattyú elülső szakaszának nyomásának fenntartására használnak a megengedett legnagyobb nyomás alatt
4) karbantartási szivattyú
Karbantartási szivattyú utal, amikor a vákuumrendszer szivattyúzás nagyon kicsi, nem tudja hatékonyan használni a fő első szivattyút. Ebből a célból a segéd elülső szivattyú kisebb szivattyúzási sebességével rendelkező vákuumrendszerben a fő szivattyú normális működésének fenntartása vagy a vákuumszivattyú fenntartása érdekében a tartály kis nyomást igényelt.
5) durva vákuumszivattyú vagy alacsony vákuumszivattyú
A durva és alacsony vákuumszivattyú azt jelenti, hogy a vákuumszivattyú a vákuum vagy a vákuum-nyomás alatti tartományban működik, miután megkezdte a légkört és csökkentette a szivattyúzott tartály nyomását.
6) nagy vákuumszivattyú
A nagy vákuumszivattyú a nagy vákuumtartományban működő vákuumszivattyúra vonatkozik.
7) ultra magas vákuumszivattyú
Az ultra magas vákuumszivattyú a vákuumszivattyúra vonatkozik, amely az ultra nagy vákuumtartományban működik.
8) nyomásfokozó szivattyú
A nyomásfokozó szivattyú általában az alacsony vákuumszivattyú és a nagy vákuumszivattyú közötti munkára vonatkozik, hogy javítsa a középnyomás-tartományban lévő szivattyúrendszert, vagy csökkentse az első fokozatú szivattyú vákuumszivattyújának szivattyúzási sebességét.
6. Vákuumszivattyú modellek és az ábrázolás módszerei
A Kínai Népköztársaság JB / t7673-95-es mechanikai szabványa szerint a különböző hazai vákuumszivattyúk két részből állnak: alaptípusból és kiegészítő típusból, amelyek között vízszintes vonal van. A kifejezés 123 - 456. A 123-as szám az alapmodellt jelöli, a 456 pedig a segédmodellt.
A házi vákuumszivattyú modelleket általában a 3-2. Táblázatban a kínai fonetikus ábécé képviseli. Ha a pinyin betű a "2" szó előtt van, azt jelenti, hogy a szivattyú a kétlépcsős szivattyú szerkezetében van.
Néhány vákuumszivattyú sorozat geometriai besorolással rendelkezik az extrakciós sebességhez. Az egységek L / S. 18 fokozat van, 0,2, 0,5, 1, 2, 4, 8, 15, 30, 70, 150, 300, 600, 1200, 2500, 5000, 10000, 2000, 40000. Vákuumszivattyú-sorozat néha kifejezve: szivattyú bemeneti méretei "mm" -nél. Mivel a szivattyúk több típusa, a kiválasztásnak a termékleírások különböző gyártóira kell vonatkoznia, nagyon fontos.
3-2. Táblázat Kínai pinyin-kódok és a gyakran használt vákuumszivattyúk neve
Kód | Név | Kód | Név |
W | dugattyús szivattyú | Z | Olaj diffúziós sugárszivattyú (olajfokozó szivattyú) |
D | forgódugattyús vákuumszivattyú | S | szublimációs szivattyú |
x | csúszó lapát forgó vákuumszivattyú | LF | Összetett ion szivattyú |
H | · Rotációs dugattyú vákuumszivattyú | GL | Cirkónium-alumínium getter-szivattyú |
ZJ | Gyökér vákuumszivattyú (mechanikus nyomásfokozó szivattyú) | DZ | · hűtőszekrény cryopump
|
YZ | trochoid vákuumszivattyú | DG | Infúziós kriogén szivattyú |
L | porlasztó ionszivattyú | HA | · molekulaszűrő adszorpciós szivattyú |
XD | Egylépcsős többlépcsős vákuumszivattyú | SZ | vízgyűrűs szivattyú |
F | molekuláris szivattyú | PS | vízsugaras szivattyú |
K | Olaj diffúziós vákuumszivattyú | P | gőzelvezető szivattyú |
IKS PVD, van egy professzionális csapatunk, hogy megtervezze a vákuumszivattyú elrendezését a PVD vákuumos bevonó gépen, lépjen kapcsolatba velünk most, iks.pvd @ foxmail.com