A mágnesporlasztási folyamat paramétereinek hatása: Mátrix negatív torzítás

A magnetron porlasztási folyamat paramétereinek hatása: mátrix negatív torzítás

A negatív torzítás lehetővé teszi, hogy az ionok bombázzák a növekvő filmet egy gyorsuló elektromos mező hatására. A (Cr, Ti, Al) N kvaterner bevonatok mikroszerkezetét és mechanikai tulajdonságait a hordozófelületet érő ionok energiájának és mennyiségének változtatásával a hordozó negatív torzításának beállításával lehet befolyásolni. A kutatók azt találták, hogy a (Cr,Ti,Al)N bevonat kötőereje a szubsztrátumon először nőtt, majd csökkent a szubsztrát negatív torzításának növekedésével. A negatív előfeszítő nyomás növekedésével ugyanis megnő az ionbombázás által a filmnek biztosított energia, ami fokozza a filmatomok permeabilitását a szubsztrát felületére, ezáltal erős kötőerőt képez a film és a hordozó között. Ha azonban a negatív torzítás tovább növekszik, a nagy energiájú ionok bombázása a filmen nagy maradék feszültséget okoz a bevonatban, ami gyengíti a film tapadását a mátrixhoz. A kutatók azt is megállapították, hogy a negatív torzítás főként a (Cr, Ti, Al) N bevonatok kopásállóságát befolyásolja a filmalap kötőerő megváltoztatásával. Minél jobb a (Cr,Ti,Al)N bevonat filmalap kötőereje, annál kisebb a kopási sebesség és annál hosszabb a kopásállósági idő.

IKS PVD cég, dekoratív bevonógép, szerszámbevonó gép, DLC bevonógép, optikai bevonógép, PVD vákuumbevonatoló sor, a kulcsrakész projekt elérhető. Lépjen kapcsolatba velünk most, e-mail: iks.pvd@foxmail.com