PECVD gáz- és áramlásszabályozó rendszerek

A PECVD rendszer gázellátását szinte mindig gázpalackok látják el, amelyek egy gázszekrényben, sok biztonsági berendezéssel vannak elhelyezve, és a gázszekrényen és a vezetékeken található vezérlőpanelen keresztül jutnak el a PECVD folyamatkamrájába.

A leválasztás során a reakciógáz mennyisége befolyásolja a lerakódás sebességét és egyenletességét, ezért a gázáramot szigorúan ellenőrizni kell, és általában a tömegáram-mérőt használják a pontos szabályozás eléréséhez.

IKS PVD cég, dekoratív bevonógép, szerszámbevonó gép, DLC bevonógép, optikai bevonógép, PVD vákuumbevonatoló gépsor, a kulcsrakész projekt elérhető. Lépjen kapcsolatba velünk most, e-mail: iks.pvd@foxmail.com