PECVD-szubsztrát hőmérséklet

A szubsztrátum hőmérsékletének a film minőségére gyakorolt ​​hatása elsősorban a lokális állapotsűrűségben, az elektronmobilitásban és a film optikai tulajdonságaiban rejlik. A szubsztrátum hőmérsékletének emelkedése jótékony hatással van a szuszpenziós kötés kompenzálására a film felületén, és a film hibasűrűsége csökken.

Az aljzat hőmérséklete kis mértékben befolyásolja a lerakódás sebességét, de nagy hatással van a film minőségére. Minél magasabb a hőmérséklet, annál nagyobb a lerakódási film sűrűsége, annál magasabb a hőmérséklet fokozza a felületi reakciót és javítja a film összetételét.

IKS PVD cég, dekoratív bevonógép, szerszámbevonó gép, DLC bevonógép, optikai bevonógép, PVD vákuumbevonatoló sor, a kulcsrakész projekt elérhető. Lépjen kapcsolatba velünk most, e-mail: iks.pvd@foxmail.com