A Holl Ion Forrás elve és alkalmazása
May 13, 2019| A holl ionforrás alapelve és alkalmazása
Ionforrás-munka elve
Az ionforrás típusa
Az ionos energia szerint:
Nagy energiájú 200 vagy annál nagyobb, mint például APS, RF, Kaufman ion Forrás;
Hall-ionforrás az alacsony energia 200ev alatt
Osztott típus:
Kaufman típus és Hall típus
Hogyan működnek az ionforrások
Valódi sűrű környezetben a vákuumkamrába töltött gázt az elektromos és mágneses mezők kölcsönhatása alatt eltávolított elektronokkal távolítják el, és az ionokat az elektromos és mágneses terek hatására bocsátják ki.
A csarnok ionforrás szerkezeti elve
Alkatrészek:
A katód elektronokat bocsát ki
Az anód - ionokat termel
Gázút - ionizált gázt biztosít
A tápegység
A Hall ionforrás szerkezete
A Kaufman ionforrás szerkezete
Ionforrás ionenergia:
Split kaufman ionforrás: az anód és a rács közötti feszültség
Hall-ionforrás: az anódfeszültség 65-70% -a
IKS PVD ， IET bevonó berendezés, kapcsolat: iks.pvd@foxmail.com
