A Magnetron Porlasztó bevonat termékjellemzői

A magnetron porlasztó bevonat termékjellemzői
1. A magnetron porlasztás által használt gyűrűs mágneses mező arra kényszeríti a másodlagos elektronokat, hogy a gyűrűs mágneses mező mentén ugrórúd segítségével forogjon. Ennek megfelelően a gyűrűs mágneses mező által ellenőrzött régió a legnagyobb plazmasűrűségű régió. Során magnetron porlasztás, a porlasztó gáz, argon, látható, hogy ki egy erős világoskék ragyogás ebben a helyzetben, alkotó gyűrű. A cél alatt a halo a leginkább bombázzák ionok, sputtering gyűrű alakú horony. A gyűrű mágneses mezeje az a pálya, amelyben az elektronok mozognak, amit a gyűrű ragyogása és barázdái szimbolizálnak. Amint a magnetron porlasztó célpont porlasztó barázdája behatol a célanyagba, az az egész célanyag maradékába vezet, így a célanyag kihasználtsági aránya nem magas, általában kevesebb, mint 40%;

2. Plazma instabilitás;

3, az alacsony hőmérséklet és az erős mágneses anyagok nagy sebességű porlasztása nem valósulhat meg, mert szinte minden mágneses fluxus nem tud átmenni a mágneses célon, így a külső erősítő mágneses mező nem adható hozzá a célfelület közelében.

IKS PVD cég, díszbevonó gép, szerszámbevonó gép, optikai bevonat gép, PVD vákuumbevonó vonal. Vegye fel velünk a kapcsolatot most, E-mail: iks.pvd@foxmail.com