PVD vákuum bevonat a ferromágneses célanyagokból
Feb 18, 2019| PVD vákuum bevonat ferromágneses célanyagokhoz
IKS PVD, PVD vákuum bevonó berendezések gyártása, kapcsolat: iks.pvd@foxmail.com
A mágneses célpont nehézsége a PVD vákuumbevonatában az, hogy a mágneses mező a célfelületen nem érheti el a normál vákuumozáshoz szükséges mágneses térerősséget. Ezért a megoldás a ferromágneses célpont felszínén lévő remanens mágneses tér intenzitásának növelése annak érdekében, hogy megfeleljen a mágneses tér mérete a cél felületén a normál porlasztási munkák során.
Számos módja van a PVD vákuum bevonatának megvalósítására:
1. A célanyag tervezése és javítása (a ferromágneses célanyag vastagságának csökkentése a PVD vákuum célszerkezetének általános megoldása a ferromágneses anyag bevonása). ;
2. A PVD vákuumos bevonó katód mágneses térhatásának fokozása;
3. Csökkentse a célanyag mágneses permeabilitását;
4. Új mágneses fröccsöntő katódeszközt terveztek;
5. Új vákuumos galvanizáló rendszer tervezése;
6. A célanyag és a mágneses sputterező katód eszköz átfogó tervezése.