A PECVD berendezések alapvető felépítése

A PECVD berendezések főként vákuum- és nyomásszabályozó rendszerből, lerakódási rendszerből, gáz- és áramlásszabályozásból, rendszerbiztonsági védelmi rendszerből, számítógépes vezérlésből és egyéb alkatrészekből állnak. A berendezés szerkezeti blokkvázlata a 2. ábrán látható.

IKS PVD cég, dekoratív bevonógép, szerszámbevonó gép, DLC bevonógép, optikai bevonógép, PVD vákuumbevonatoló gépsor, a kulcsrakész projekt elérhető. Lépjen kapcsolatba velünk most, e-mail: iks.pvd@foxmail.com