Mi a vákuumos bevonó berendezés szerkezete?
Nov 08, 2017| A vákuumos bevonó berendezés a legszélesebb körben használt berendezés a vákuumfeltételek kialakítása érdekében. Széles körben használják. Ma életünk nem választható el ettől. Ma látni fogjuk annak szerkezetét és működési elvét.
Vákuumos fő vákuum üreg
Különböző termékek követelményeinek megfelelően, a különböző méretű kamrák, most 1,3 m-es átmérővel, 0,9 M, 1,5 M, 1,8 M stb. Alkalmazásával a kamra rozsdamentes acélból készül, nem rozsdás, szilárd, a vákuumkamrát a szelephez csatlakoztatja, amelyet a szívószivattyú csatlakoztatására használnak.
Kettő. Filmképző rendszer
A vékonyréteg-bevonó gép számos vékonyréteg-monitor alkalmazási módszere, például vizuális megfigyelési módszer, rögzített érték felügyelet, kristály oszcilláció figyelés, időmegfigyelés és így tovább.
Három. Kiegészítő szivattyúrendszer
A kipufogórendszer a "diffúziós szivattyú + mechanikus szivattyú + gyökérszivattyú + kriogén hidegcsapda + polycold" kompozíciót használja.
Négy. Párolgási rendszer
A párologtató rendszer főként a filmképző készülékre vonatkozik, és a bevonógép számos filmképző eszközzel rendelkezik, mint például az ellenállás melegítése, az elektronpisztoly párolgása, a magnetron sputtering, az RF sputtering, az ionozás és más módszerek.
A teljes vákuumos bevonógép több rendszerből áll, mindegyik rendszer képes különböző funkciókat ellátni, ezek a szerkezetek, a minőségi bevonat végső megvalósítása.