Milyen PVD módszert kell használni?

A leggyakoribb fizikai gőzleadás (PVD) leggyakoribb típusa a magnetron sputtering és párolgás, amely lehet hő vagy elektronsugár (e-gerenda). Hogyan állapítható meg, hogy mikor kell használni?

MILYEN A MAGNETRON FOLYAMAT?

A sputter lerakódás kiválóan alkalmas olyan anyagok esetében, amelyek magas olvadáspontjai nem párolognak. A Magnetron sputtering sokoldalú módja annak, hogy nagyon sűrű filmeket készítsenek, jó tapadóképességgel. A magnetron porlasztás plazmaalapú bevonási módszer, amely mágnesesen zárt plazmát hoz létre a célfelszín közelében. Ezután a pozitív töltésű energikus ionok a plazmából összeütköznek a negatív töltésű célanyaggal és a célpontból származó atomok kiürülnek vagy "sputtered", majd ezt követően egy szubsztrátumra vagy ostyára rakódnak le.

MIÉRT A MAGNETRON KÉSZÍTÉSE:

● A filmvastagság és a filmbevonat sűrűsége pontosan meghatározza a sűrűbb bevonatokat, mint a párolgás

● Tökéletes fém vagy szigetelő bevonatokhoz, speciális optikai vagy elektromos tulajdonságokkal

● Számos magnetronforrással konfigurálható

MI A RESISTÍV TERMÁLIS PAPÁZAT?

A rezisztív termikus párolgás talán a PVD legegyszerűbb formája. Általában egy ellenállóképes hőforrást használ, hogy egy forrásanyagot elpárologjon egy kamrában. Az elpárologtatott anyag a kamrában hőenergián nő, végül egy hordozót vékony filmmel borít. Ez a folyamat fémekhez vagy nem fémekhez használható, és jó választás az elektromos kapcsolatokhoz.

MIÉRT FELHASZNÁLJÁK A RESISTÍT TERMÉSZETES SÉRÜLÉSHEZ:

● Költséghatékony mód az alacsonyabb olvadáspontú fémek vagy nem fémek vékony filmek előállítására

● Használható az aljzathoz ragasztott indium bump lerakódáshoz

● Magasabb lerakódási arány, mint a porlasztás

MI AZ E-BEAM EVAPORÁCIÓ?

Az E-sugár párolgása egy termikus bepárlási folyamat, amely lehetővé teszi nagyobb mennyiségű energia közvetlen átvitelét a forrásanyagba, mint ami a termikus bepárlással lehetséges. Ez lehetővé teszi magas olvadáspontú anyagok, például arany lerakódását. Ebben az eljárásban a párologtató anyagot egy tégelybe vagy egy vízhűtéses réz kandallóba helyezzük, ahol azt elektronhegesztéssel melegítjük. A hő a forrásanyag elpárologtatását okozza, és ezután a hordozóra kerül.

MIÉRT FELHASZNÁLJA AZ E-BEAM ESEMÉNYEZÉSE:

Az anyagok széles skálájához alkalmazható, beleértve a magasabb olvadáspontúakat is, amelyek nem hajlamosak termikus párolgásra

● Javítja a lefedettséget, mint a porlasztás vagy a kémiai gőzök lerakódása (CVD)

● Magasabb anyagfelhasználási hatékonyságot és nagyobb lerakódási arányokat kínál, mint a porlasztás

● Kompatibilis egy második ion-segédforrással, amely lehetővé teszi az előtisztítás vagy ionos lerakódás (IAD)

Nincs olyan módszer, amely a megfelelő választás minden alkalmazáshoz. A PVD mindhárom típusa saját előnyöket kínál, és az Ön igényeinek megfelelően kell kiválasztani.