
Kompatibilis vákuummérők és vezérlők CDG045D 0,05 ~ 1000Torr / Mbar
BEVEZETÉS Az INFICON SKY CDG045D manométerek a legjobb választás a nagy pontosságú teljes nyomásméréshez és vezérléshez. A CDG045D mérőműszerek 45 ° C-os hőmérséklet-szabályozással rendelkeznek a kiváló jelstabilitás és megismételhetőség érdekében. Teljes méretarányúak 50 mTorr-ról 1000 Torrra, ...
- A termék bemutatása
BEVEZETÉS
Az INFICON SKY CDG045D manométerek a legjobb választás a nagy pontosságú teljes nyomásméréshez és -szabályozáshoz. A CDG045D mérőműszerek 45 ° C-os hőmérséklet-szabályozással rendelkeznek a kiváló jelstabilitás és megismételhetőség érdekében. Teljes méretarányúak 50 mTorr-ról 1000 Torr-ra, minden szokásos karimás típusra és terepibusz-interfészre, és lineáris 0 - 10 V-os, gázfajtától független nyomást jeleznek. Az INFICON kapacitás manométerek ultra tiszta alumínium kerámia membránt használnak, amely korrózióálló. A kerámia érzékelő előnyei jobb jelstabilitás, gyorsabb helyreállítás a légkörből, rövid felmelegedési idő és rendkívüli élettartam. Az INFICON CDG kiváló minőségű, költséghatékony nyomásérzékelő az igényes vákuumos alkalmazásokhoz.
Az INFICON SKY CDG045D kapacitív membránmérők az Oerlikon Leybold CTR 101 távadók közvetlen helyettesítései. Szerezze be az eredetiet a gyártó cégtől globális támogatást és megoldásokat minden alkalmazáshoz.
ELŐNYÖK
◆ Teljesen kompatibilis a CTR 101 jeladókkal
◆ Alacsony szén-dioxid-kibocsátás (tulajdonosi költség), 50% -kal gyorsabb felmelegedés, energiatakarékos alacsony fogyasztás
◆ Egyszerű integráció, a teljes mérlegek, karimák és interfészek széles skálája, standard két beállító ponttal
◆ Könnyen egy nyomógomb vagy távjel nulla parancs, nulla eltolás állítható
◆ Diagnosztikai port a gyors szervizhez és karbantartáshoz
◆ Kétéves garancia, hosszabb élettartam, fejlett fűtési koncepcióval és nyomtávvédelemmel
◆ Nincs hosszú távú újrakalibrálás a kiváló jelstabilitás és megismételhetőség miatt, még a durva plazmaviszonyokban is
◆ Megfelelés és szabványok: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
TIPIKUS ALKALMAZÁSOK
◆ Etch, CVD, PVD és más félvezető gyártási folyamatok
◆ Vegyi és maró vákuumos folyamatok
◆ Általános vékony film és vákuumos folyamatok
◆ Referencia-érzékelő a mérőeszközök nemzetközi szabványoknak megfelelő ellenőrzéséhez
◆ Átvitel szabvány a nyomon követési mérésekhez
LEÍRÁS
típus | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1Torr / mbar | 0,5 ... 0,05 Torr / mbar | |
Pontosság | Az olvasás% -a | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
Hőmérséklet hatása | ||||
nulla | százalékos FS / ° C | 0,0025 | 0,0025 | 0,0025 |
a span | % olvashatóság / ° C | 0,01 | 0,01 | 0,01 |
Felbontás | százalékos FS | 0,003 | 0,003 | 0,003 |
Nyomás, max. | kPa (abszolút érték) | 400 | 260 | 130 |
Legkisebb olvasás | százalékos FS | 0,01 | 0,01 | 0,01 |
A legalacsonyabb javasolt olvasás | százalékos FS | 0,05 | 0,05 | 0,05 |
A legalacsonyabb javasolt kontroll nyomás | százalékos FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
Hőmérséklet | ||||
Működés (környezeti) | ° C | +10 ... +40 | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
Bakeout a karimában | ° C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
Tárolás | ° C | -20 ... +65 | -20 ... +65 | -20 ... +65 |
Tápfeszültség | +14 ... +30 VDC vagy ± 15 V (± 5%) | +14 ... +30 VDC vagy ± 15 V (± 5%) | +14 ... +30 VDC vagy ± 15 V (± 5%) | |
Energiafelhasználás | ||||
Melegítés közben | W | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
Üzemi hőmérsékleten | W | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
Kimeneti jel (analóg) | V (dc) | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
Válaszidő | Kisasszony | 30 | 30 | 130/30 |
Védelmi fokozat | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
szabványok | ||||
CE megfelelőség | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 és RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 és RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 és RoHS | |
ETL tanúsítás | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | |
SEMI megfelelés | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
Elektromos csatlakozás | D-sub, 15 pólusú, férfi | D-sub, 15 pólusú, férfi | D-sub, 15 pólusú, férfi | |
alapérték | ||||
Az alapértékek száma | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | |
Relé érintkezés | V (dc) | ≤30 | ≤30 | ≤30 |
Hiszterézis | százalékos FS | 1 | 1 | 1 |
Diagnosztikai port | ||||
Jegyzőkönyv | RS232-C | RS232-C | RS232-C | |
Olvas | nyomás, állapot, azonosító | nyomás, állapot, azonosító | nyomás, állapot, azonosító | |
Készlet | set pontok, szűrő, nulla állítsa be, gyári alaphelyzetbe állítja, DC offset | set pontok, szűrő, nulla állítsa be, gyári alaphelyzetbe állítja, DC offset | set pontok, szűrő, nulla állítsa be, gyári alaphelyzetbe állítja, DC offset | |
Anyagok kitéve vákuum | lítium-oxid kerámia (AI2O3), acéllemez (AISI 316L) | lítium-oxid kerámia (AI 2 O 3 ), rozsdamentes acél (AISI 316L ) | lítium-oxid kerámia (AI 2 O 3 ), rozsdamentes acél (AISI 316L ) | |
Belső hangerő | ||||
1/2 "cső | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
8 VCR® | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
Népszerű tags: kompatibilis vákuummérők és vezérlők cdg045d 0,05 ~ 1000torr / mbar, Kína, gyártók, beszállítók, vásárlás, testreszabott, Kínában gyártva
Akár ez is tetszhet









