Általános célú tömegáram szabályozó - MKS 1179C
Az 1179C egy általános célú tömegáram-szabályozó, melynek célja a gázok áramlásának mérése és szabályozása számos alkalmazásban. Az 1179-es tömegáram-szabályozók 10 sccm-ről 20 s-ig teljes skálatartományban kaphatók, így gyors, megismételhető áramlásszabályozást biztosítanak olyan alacsonyak, mint ...
- A termék bemutatása
BEVEZETÉS
Az 1179C egy általános célú tömegáram-szabályozó, melynek célja a gázok áramlásának mérése és szabályozása számos alkalmazásban. Az 1179-es tömegáram-szabályozók 10 sccm-ről 20 s-ig teljes skálázási tartományban állnak rendelkezésre, így gyors, megismételhető áramlásszabályozást biztosítanak 0,2 sccm-nél. Alkalmazható nyomásszabályozóként is, ha megfelelő nyomástávadókhoz csatlakoznak.
Az 1179C egy közvetlen form-fit-function helyettesíti a legáltalánosabb MFC-ket a piacon. A normál 3 hüvelykes lábnyom lehetővé teszi az 1179C-nak, hogy közvetlenül a meglévő gázvezetékek módosítása nélkül, ugyanabba a helyre csökkenjen. Az elektromos csatlakozók ugyanolyan típusú "D" csatlakozók, ugyanazokkal a kivágásokkal, jelekkel és funkciókkal, mint azok ipari partnerei, ezért nincs szükség kábelek vagy csatlakozók újraszerelésére. Az 1179C kompatibilis az MFC tápegységgel és a kijelző elektronikával az MKS-től vagy más gyártóktól.
JELLEMZŐK ÉS ELŐNYÖK
◆ A szabadalmaztatott 1 érzékelő kialakítása rendkívüli stabilitást biztosít
◆ A teljes méretarány 10 sccm-ről 20 s-ig terjed, a pontos és ismételhető áramlásméréshez és vezérléshez
◆ Az analóg konfigurációk teljes skálájának pontossága
◆ A gyors felmelegedési idő minimalizálja a drága gyártási állásidőt
◆ Kompatibilis a korábbi MKS MFC és tápegység / olvasó modulokkal
◆ A szigorú tervezés és tesztelés MTBF elemzést és STRIFE tesztelést tartalmaz a hosszú távú teljesítmény biztosítása érdekében
◆ A nedvesített rozsdamentes felületek felületkezelése, a tisztatér feldolgozása és az elasztomer tömítések minimális használata lehetővé teszi az igényes, tiszta folyamatokban történő alkalmazást
◆ A kétéves garancia biztosítja a minőséget és a vevői elégedettséget
SZERKEZET
1179C tömeg-Flo vezérlő keresztmetszete
Átfolyási pontosság és megismételhetőség
A fenti grafikon az analóg MFC-k tipikus áramlási pontosságát és ismételhetőségét mutatja az 1179C családban. A méréseket a MKS Instruments Califlow® Primer Standard Flow Calibrator alkalmazásával végeztük 10 napos periódus alatt.
Zéró stabilitás
A fenti grafikon az 1179-es családban használt 1179C szenzor kiváló nullát és span stabilitását mutatja. Az eszközöket bekapcsoltuk és véletlenszerűen teszteltük a nulla és az átmeneti sodródást egy 19 hónapos időszak alatt.
LEÍRÁS
| Teljes skála tartományok (N 2 ekvivalens) | 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000, 2000, 5000, 10000, 20000 sccm | |
| Maximális bemeneti nyomás | 150 psig | |
Normál üzemi nyomás Differenciális (atmoszférikus nyomás az MFC kimeneten) | 10-5000 sccm | 10-40 psid |
| 10000-30000 sccm | 15-40 psid | |
| Vezérlési tartomány | Az FS 2% és 100% -a között | |
Pontosság (analóg) (beleértve a nemlinearitást, a hiszterézist és a nem ismételhetőséget 760 mmHg-ra és 0 ° C-ra hivatkozva) | ± 1,0% FS | |
| Ismétlési | ± 0,2% FS | |
| Felbontás | 0,1% FS | |
| Hőmérsékleti együtthatók | Nulla | <0,05% fs="" °=""> |
| arasz | <0,08% rdg="" °=""> | |
| Bemelegedési idő (az FS állandóságának 0,2% -án belül) | <2> | |
| Controller Settling Time (SEMI iránymutatás E17-91) | <2> | |
| Nyomás-együttható | <0,02%> | |
| Normál üzemi hőmérséklet tartomány | 0 ° C és 50 ° C közötti hőmérsékleten | |
| Bemeneti feszültség szükséges | Max. aktuális indításkor (első 2 másodperc) | ± 15 V DC (± 5%) @ 200 mA |
| Tipikus áramerősség állandósult állapotban | ± 15 V DC (± 5%) @ 100 mA | |
| Set Point Command Signal | 0 ... 5 V DC <20k> | |
| Kimeneti jel | 0 ... 5 V DC értéket> 10 K Ω-ig | |
| Kimeneti impedancia | <1> | |
Csatlakozó típusok Analóg | 9 vagy 15 pólusú "D" típusú (A 15 pólusú "D" típusú csatlakozó elektronikusan van kompatibilis a többi MKS áramlásvezérlővel . A részletekért keresse fel az alkalmazások tervezését.) | |
| Nedvesített anyagok | Alapértelmezett | 316L SS, Viton ®, nikkel |
| Opcionális (tömítések és szelepülések) | Buna-N, Neoprene®, Kalrez® | |
| Szivárgás integritás | Külső (scc / sec He) | <1 x="" 10=""> |
| Zárt szelepen keresztül | <1,0% fs="" az="" atmoszférában="" 40="" psig=""> (Az átáramlás biztosítása érdekében külön pozitív zárószelepet ajánlunk.) | |
| Szerelvények (kompatibilis) | Swagelok ® 4 VCR ®, Swagelok ® 4 VCO ®, ¼ '' Swagelok | |
| teljesítés | CE | |
Dimenziós rajz
Megjegyzés: Hacsak másként nincs megadva, a méretek névleges értékek hüvelykben (mm hivatkozással).
Népszerű tags: általános célú tömegáram-szabályozó - mks 1179c, Kína, gyártók, beszállítók, vásárlás, testreszabott, Kínában gyártva
Akár ez is tetszhet
