Nagy teljesítményű közbenső frekvencia Magnetron Sputtering tápegység
Nagy teljesítményű közbenső frekvencia Magnetron sputtering tápegység jellemzői ● A nagyteljesítményű MF magnetron sputtering áramforrás az ívkioltás funkcióját ésszerűen és gyorsan elvégezheti az energiaigény teljesítésének megfelelően. És a tápegység tökéletes kijelzővel rendelkezik ...
- A termék bemutatása
● A nagyteljesítményű MF magnetron porlasztó tápegység az ívoltó funkciót ésszerűen és gyorsan megvalósíthatja az energiaigény teljes kielégítése alapján. A tápegységnek tökéletes megjelenítési és védelmi lehetőségei vannak a túlfeszültség, a túlfeszültség, a túlterhelés, a túlmelegedés stb. Között. A nem vezetőképes célokat és az ionizációs sebességet is növelheti a célmérgezés és az abnormális kisülések hatékony leküzdésére.
● A tápegység fejlett nagyfrekvenciás inverteres tápellátási technológiát és IGBT teljesítménymodult alkalmaz, hogy csökkentse a kimeneti energiatároló elemet, ennek eredményeképpen a bevonatréteg rendkívül sűrű és sima.
● Az érintőképernyős mikrokontroller használatával a tápegység rendkívül integrált és nagy teljesítményű, könnyű kezelhetőséggel. Az áram és a feszültség kijelzése nagyon világos és intuitív.
● A PHP ívpróziós technológia biztosítja, hogy a felületkezelés során a felhasználók a bevonatréteg minőségét jobban ellenőrizzék. A feszültségstabilizálás és az ideális puccfúzó tulajdonságaival együtt a tápegység hatékonyan gátolhatja a munkadarab felületének ívét, és jelentősen javíthatja a terméshozamot, valamint a felületek finomságát és a tapadási felületek film tapadását.
● A tápegység háromféle üzemmódot kínál (állandó feszültség, állandó áram és állandó teljesítmény), ahonnan választhat. A hagyományos állandóáramú üzemmóddal összehasonlítva az állandó teljesítmény mód jobban biztosítja a bevonási folyamat ismételhetőségét.
● A tápegység a digitális számítógépeken keresztül kommunikálhat a gazdaszámítógép segítségével, például RS232, RS485, WIFI stb.
● A kimeneti teljesítmény és a frekvencia széles skálájával a tápegység képes megfelelni a különböző folyamatalkalmazások igényeinek.
● A legfontosabb paraméterei széles tartományon belül állíthatók.
Leírás
termék modell | EP80A125H |
Bemeneti teljesítmény és frekvencia (V / Hz) Három fázis és négy vezeték | AC380 + N |
| 60Hz | |
Kimeneti áramtartomány (A) | 0 ~ 80 |
Pontosság állandó feszültséghez és állandó áramhoz | ≤1% |
1250 | |
Maximális kimeneti teljesítmény (KW) | 100 |
Duty Cycle (%) | 80 |
Súly (KG) | 80 |
Külső méretek (MM) | 575 (D) × 480 (W) × 250 (H) |
Szigetelési fokozat | B |
Termelékenység(%) | 90 |
Védelmi osztály | IP21 |
Üzemmód | Az állandó feszültség, a konstans áram és az állandó teljesítmény módok opcionálisak. Konventális kimenet: állandó áram |
Hűtés mód | Vízhűtés |
Külső interfész | Ez a sorozat minden termék elfogadja az érintőképernyős mikrokontrollert |
Teljesítmény-összehasonlítás A 30 kw-os MF Magnetron Sputtering tápegységgel összehasonlítva
Termékmód | 30 kw középfrekvencia | EP125A80H |
(KHz) | 40 | 40 |
Duty Cycle (%) | 80 | 80 |
Feszültség (V) | 800 | 800 |
Áram (A) | 38 | 125 |
Maximális teljesítmény (KW) | 30 | 100 |
A nagy teljesítményű MF Magnetron Sputtering Power Source EP125A80H előnyei
● A kemence nagy helyigénye
Az EP125A80H kevésbé közbenső frekvencia-célokat igényel, és biztosítja a kemence nagyobb kihasználtságát és a jobb termelési kapacitást.
● Kiváló ívpróziós technológia
Az EP125A80H a PHP ívpróba technológiát alkalmazza, így a felhasználók a film minőségét a felületi kezelés folyamatában a film minőségének javítása érdekében kényelmesen szabályozhatják.
A felhasználók a meglévő magnetron sputtering tápegységet közvetlenül az EP125A80H-val kicserélhetik, és csak a katódos anyagokat és a mágneses mezőket helyettesítik a hűtőrendszer helyett.
● Nagy teljesítmény / térfogat arány
A nagy teljesítmény / térfogat arány megkönnyíti a berendezések telepítésének integrálását a felhasználók számára.
Alkalmazás
A nagyteljesítményű MF magnetron porlasztási áramforrást széles körben használják a plazmában, a fizikai, a kémiai, az orvosi és a különböző tudományos kutatási területeken.
