Fúrók PVD vákuumbevonó gép

hordozó maximális átmérője * mennyiség

150 * 12 个

szivattyúzási idő

atm 6X10 ^-3 <15>

üzemi feszültség / frekvencia

380V / 50Hz

valódi hatalom

70 KW

Technológia

HCD + ARC

célmennyiség

12db

végső nyomás

5,0 * 10 ^-4 Pa

szivárgási sebesség

10 ^{- 3} Pa / L

standard bevonat

TiN 、 CrN 、 AlTiN 等

opcionális bevonat

TiAlCrN stb.

lemezjátszó szerkezete

lefelé szerkezet

kamra építése

Függőleges egyajtó

Áramforrás típusa

Ívteljesítmény, impulzus torzításteljesítmény, E-fegyver teljesítménye

Szivattyú rendszer

Turbo molekuláris szivattyú, Roots pump, monoblock pump

Bevonási ciklus

3-6 óra / kemence

Teljes méret

L4200 * W3200 * H2200MM

Hozam / kemence

marógép φ 10 * 70 880db

Kés részecskék φ 18 * 6 6400

Főzőlapφ 80 * 80 64

modellek 500KG

mérkőzés feltétele

• Keringő víz nyomása ： 2-3KG / CM 3

• vízmennyiség ： 10T / H

sűrített levegő ： 4-6 KG / CM3

Ellenőrzési módszer

kézi + félautomata +

• teljesen automatikusan integrált

/ érintőképernyő + PLC

Saját fejlesztésű bevonó szoftver

működő gáz

Ar 、 N ² 、 O ² 、 C ² H ²

Megjegyzés

A vákuumkamra mérete, teljes mérete, a berendezés megjelenése testreszabható az ügyfelek termékei vagy a speciális folyamatkövetelmények szerint