A DLC fizikai gőzfázisú leválasztási módszere

A DLC fizikai gőzfázisú leválasztási módszere magában foglalja a vákuumpárologtatást, az ellenállásos melegítésű bepárlást, az indukciós melegítéssel történő párologtatást, a forrókatódos ionos bevonatot, az ívionos bevonatot, a reaktív ionos bevonatot, az RF ionos bevonatot, az egyenáramú kisülésű ionbevonást stb. Kiemelkedő tulajdonsága, hogy a különböző gázkisülések gőzleválasztásba vezetik be, így a teljes leválasztási folyamat a plazmában megy végbe, ami nagymértékben javítja a részecskeenergiát. Az ionos bevonat filmképző sebessége gyors, a filmalap kötése jó, a filmbevonat tulajdonsága jó, alacsony hőmérsékleten lerakható. A mágneses szűrőkatódos vákuumíves leválasztás (FCVA) technológia mágneses szűrőtekercset használ az ívforrás által termelt nagy részecskék és semleges atomok kiszűrésére, így szinte az összes szénion eléri a hordozót, és hidrogénmentes DLC filmek készíthetők. magas lerakódási sebességgel. Vannak, akik az FCVA technológiát használják olyan hidrogénmentes szénfólia készítésére, amelynek sp3 kötéstartalma akár 90%, keménysége pedig 95 GPa, és amelynek tulajdonságai hasonlóak a polikristályos gyémánt anyagokéhoz. A porlasztási folyamat az izzító kisülés és a katódporlasztás elvén alapul. A magnetronos porlasztási módszer az argonionos Ar porlasztást használja a grafitcélpontok egyenáramú köztes frekvencián vagy RF módban történő porlasztására. A porlasztott szénatomok energiaeloszlása ​​a porlasztott ionok energiájától és fajtájától függően változik. Ennek a módszernek az előnyei az alacsony lerakódási hőmérséklet, az egyszerű berendezés, a nagy leválasztási terület, valamint a nagy ellenállású fólia és szigetelőfólia lerakása.

IKS PVD cég, dekoratív bevonógép, szerszámbevonó gép, DLC bevonógép, optikai bevonógép, PVD vákuumbevonatoló gépsor, a kulcsrakész projekt elérhető. Lépjen kapcsolatba velünk most, e-mail: iks.pvd@foxmail.com