A DLC film keménysége

A mágneses szűrőkatódos íves módszerrel (FVCA) előállított DLC film keménysége hasonló a gyémántfilméhez. A vákuumkatódos íves módszerrel (VCAD) készített DLC film keménysége HV5000 felett van. A magnetronos porlasztással előállított DLC film keménysége általában alacsonyabb, mint a HV2000. Ezenkívül a leválasztási folyamat és az adalékolás befolyásolja a DLC film keménységét is. A megfelelő torzítás, nyomás és légkör különböző mértékben javíthatja a DLC-fólia keménységét. A legtöbb kísérlet azt mutatja, hogy az adalékolás különböző mértékben csökkentheti a DLC-fólia keménységét, de egyesek úgy gondolják, hogy az Si beépítése javíthatja a DLC-fólia keménységét. A DLC film általában nagy belső feszültséggel rendelkezik. A belső feszültség nemcsak a DLC-fólia szerkezetével és összetevőivel függ össze, hanem a filmképző folyamattal is. Például a H-DLC filmben a belső feszültségnek nagy kapcsolata van a H-tartalommal. A DLC-fólia nagy keménységének megőrzése mellett az N, Si és néhány fémelem beépítése csökkentheti a belső feszültséget. A belső feszültség nagymértékben befolyásolja a DLC-fólia és a hordozó kötési tulajdonságait. Ha a DLC-fóliát közvetlenül a hordozóra helyezik fel, a film kötőereje általában gyenge. Minél vékonyabb a DLC film, annál jobb a kötőerő a film és a hordozó között. Ezenkívül a DLC-fólia tapadása fokozható egy átmeneti réteg hozzáadásával a DLC-film és a hordozó közé. Ha Cr-t használunk átmeneti rétegként, a membrán és a hordozó közötti kötés jelentősen javul. Az átmeneti rétegek különböző pincepárjai különböznek.

IKS PVD cég, dekoratív bevonógép, szerszámbevonó gép, DLC bevonógép, optikai bevonógép, PVD vákuumbevonatoló sor, a kulcsrakész projekt elérhető. Lépjen kapcsolatba velünk most, e-mail: iks.pvd@foxmail.com