Az elektronnyaláb párologtató bevonógép összetétele

Az elektronnyaláb párologtató bevonógép összetétele

Az elektronnyaláb párologtató bevonógép főleg vezérlőrendszerből, valódi légútrendszerből és elektronpisztoly rendszerből áll. 1. Az elektronnyaláb-párologtató bevonógép valós légútjában két szivattyú van, nevezetesen az első szakaszban működő mechanikus szivattyú és a nagyvákuumú kriogén szivattyú, amelyek között a kriogén szivattyú funkció elsősorban a nagyon alacsony hőmérsékleten valósul meg. a hideg esernyő eredeti adszorpciójára a vákuum céljának elérése érdekében. A magas vákuumszivattyú alacsony hőmérsékleten történő indításakor a mechanikus szivattyú szintje a csővezeték előtt vákuumállapotban lesz, amikor a vákuumcsővezeték egy bizonyos mértékig eléri, kedvező szelep nyílik, ez a szint még a mechanikus szivattyú folytatása előtt dolgozni, hogy a cső és az alacsony hőmérsékletű szivattyú vákuumállapotú legyen, akkor volt egy korábbi szelep, amely megismétli a fenti lépéseket. {{2}}. Elektronnyaláb-melegítő és párolgási forrás Az elektronnyaláb párolgási forrása elsősorban elektronfegyverből és tégelyből áll. Szükség esetén felszerelhető egy sor mechanikus berendezés, amely nyersanyagokat biztosít a bevonó géphez. A legtöbb esetben az elektronnyalábot előállító és irányító vezérlőberendezést, valamint a tégely kialakítását beépítik a bevonógépbe. Az alábbiakban felsoroljuk az elektronnyaláb fűtési és párolgási forrásainak több szerkezetét. A párologtatót lineáris katóddal és elektrosztatikus fókuszálással fűtik. (2) a párologtatót gyűrűs katóddal melegítik és elektrosztatikus fókuszálással. A párologtató tengelyirányú pisztollyal és elektrosztatikus távfókuszálással fűthető. A párologtató tengelyirányú fegyverrel melegítve, mágneses fókuszálás és mágneses eltérés 90 fok. E típusú pisztoly párologtató, az elektronikus pálya által kibocsátott E típusú elektronnyaláb párologtatás forrása hasonló a 0010010 quothoz; E 0010010 quot; szó, tehát E fegyvernek nevezik. Jelenleg ezt a párolgási forrást a legszélesebb körben használják a vákuum-párologtatás és a bevonási eljárás során.

IKS-OPT 2700 optikai E-pisztoly vákuumbevonó gép，további részletek, kapcsolat:iks.pvd@foxmail.com