A vákuumos bepárlási folyamat kezdeti ismerete
May 23, 2019| A vákuum elpárologtatással kapcsolatos kezdeti ismeretek
A vákuum elpárologtató berendezés szerkezetének fő összetevői a következők:
(1) vákuumkamra, amely szükséges párolgási fokozatot biztosít a párologtatáshoz, és megakadályozza az anyagok oxidációját a párolgás során; (2) párologtató forrás és párologtató fűtőberendezés, amelyet főként elpárologtató anyagok elhelyezésére és melegítésére használnak; (3) az elpárologtató anyagok befogadására szolgáló szubsztrát és szilárd felületű párolgó film képzése a felületén; (4) alaplemez melegítő, amelyet az alaplemez melegítésére használnak; (5) a hőmérsékletmérő készülék egy hőelemes hőmérsékletmérő eszköz.
A vákuum elpárologtató bevonat a következő folyamatokból áll. 1. Fűtési és párolgási folyamat, beleértve a fázisátmenetet a kondenzált fázisból a gázfázisba (szilárd fázis, folyadékfázis vagy gázfázis). Ha egy vegyületet különböző anyagból párologtatunk különböző hőmérsékleten és eltérő telítettségi gőznyomáson, az alkotórészek egymással reagálnak, amelyek némelyike a párolgási térbe gáz vagy gőz formájában lép be.2. Elpárologtatott atomok vagy molekulák szállítása a párolgási forrás és a szubsztrátum között. Az e részecskék és a vákuumkamrában a maradék gázmolekulák közötti ütközések száma a térbeli repülés során a párologtatott atomok gázmolekulái közötti ütközések számától, az elpárolgott atomok átlagos szabad útvonalától és a távolságtól függ. bepárolt forrás és a hordozó. 3. Az a folyamat, amellyel a párologtatott atomok vagy molekulák lerakódnak a szubsztrátumra, vagyis a gőz kondenzáció, a nukleáció, a nukleáris növekedés és a folyamatos vékony filmek képződése. Mivel a szubsztrát hőmérséklete jóval alacsonyabb, mint a párolgási forrásé, az üledékmolekulák fázisátalakulása közvetlenül a szubsztrát felületén történik a gázfázisból a szilárd fázisba.
A vákuum elpárologtatása során a párologtató bevonat vákuumkörnyezetének meghatározó szerepe van az atomok vagy molekulák elpárolgása következtében, ami ütközik a levegő molekulák nagy számával, a membránréteg szennyeződése, oxidképződés vagy akár párolgási forrás is melegszik. vagy az ütközés blokkoló levegő molekulák miatt nehéz homogén, folyamatos vékony film képződni. Ezért fontos, hogy stabil vákuum legyen, és a párolgási folyamat magában foglalja az anyag telített gőznyomás-elméletét is. Tehát meg kell ismernie valamit a párolgási folyamat megértéséhez szükséges telített gőznyomásról.
IKS PVD ， elpárologtató bevonó berendezés ， iks iks d.pvd@foxmail.com
