Elektronnyaláb párologtató bevonat
Apr 25, 2020| Elektronnyaláb párologtató bevonat
Nagy vákuum alatt az elektronpisztoly izzószálát melegítik, hogy forró elektronokat bocsássanak ki, amelyeket a gyorsított anód felgyorsít, és így nagy mennyiségű kinetikus energiát kap, és bombázzák az elpárologtató anyagot. A kinetikus energiát hővé alakítják, hogy az elpárologtató anyag melegítésre és gázosításra kerüljön, és megvalósuljon az elektronnyaláb párologtató bevonat. Az elektronnyaláb párolgási forrása egy forró katódból áll, amely elektronokat bocsát ki, egy elektrongyorsító elektródból és egy bevonó anyagból, amely anódként ACTS. Az elektronnyaláb párolgási forrása nagymértékben koncentrálódhat, így a bevonó anyag helyben eléri a magas hőmérsékletet és elpárolog. Az elektronnyaláb teljesítményének beállításával a bevonó anyag párolgási sebessége kényelmesen szabályozható, különösen magas olvadáspontú, magas tisztaságú fém- és vegyületanyagok esetén.
IKS-OPT2700 optical E-gun vacuum coating machine，more details,contact: iks.pvd@foxmail.com
